產品詳情
一、產品簡介
邁浦特半導體材料生產控溫機組，是邁浦特專為半導體材料生產全流程研發的精密溫控設備，依托其多年溫控技術積累，核心作用是穩定控制生產各環節溫度，杜絕溫度波動影響產品質量，適配半導體生產嚴苛工況，操作簡單、運行穩定，助力企業提升生產良率，降低能耗與生產成本，是替代進口設備的可靠選擇。
二、產品描述
邁浦特這款控溫機組，基于制冷循環與熱交換原理，搭載邁浦特PLC控溫系統與高精度溫控算法，控溫精度可達±0.1℃（可定制更高精度），溫度調節范圍覆蓋-45℃至300℃，適配不同半導體材料生產工藝需求；采用全密閉循環設計，搭配知名元器件，可實時監測溫度、流量、壓力等參數，具備超溫、超壓、缺油等多重保護功能，支持USB數據導出與遠程控制，結構緊湊、占地小，可24小時連續穩定運行，適配無塵車間，維護便捷、無需頻繁人工干預，部分機型支持100組可編工藝程序，一鍵調用更省心。
三、應用場景
邁浦特半導體材料生產控溫機組，全程適配半導體材料生產全流程，核心應用于：單晶硅/多晶硅生長（直拉法、區熔法）、半導體薄膜沉積（CVD/PVD）、光刻、刻蝕、離子注入、晶圓研磨減薄、芯片封裝測試、高溫老化測試及半導體摻雜等工藝環節，可精準控制反應腔、晶圓臺、加熱/冷卻模塊等關鍵部位溫度，滿足半導體材料生產對溫度穩定性的嚴苛要求，同時適配半導體晶圓廠、新材料研發實驗室等場景。
