主營產品：上海諧波減速機|哈默納科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSF-25-160-2A-G |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態 | 中等沖擊載荷 |
| 傳動比級數 | 單級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現貨 | 現貨 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
| 布局形式 | 三環式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉速 | 3000rpm | 額定功率 | 111kw |
| 輸出轉速范圍 | 47.6rpm | 許用扭矩 | 22N.m |
| 使用范圍 | 礦產 | 減速比 | 543 |
| 產地 | 日本 | ||
真空吸盤可繞Z軸旋轉，噴嘴可沿X、Y、Z移動，哈默納科精密扁平諧波CSF-25-160-2A-GR圍繞Z旋轉。噴嘴沿硅片徑向分滴光刻膠，這樣光刻膠就可以均勻噴涂在硅片表面上。光刻膠涂覆后，在硅片邊緣的正反兩面都會有光刻膠的堆積。哈默納科精密扁平諧波CSF-25-160-2A-GR邊緣的光刻膠一般涂布不均勻，不能中“背面EBR”裝置為邊緣光刻膠的去除裝置。
軟烘的目的是去掉光刻膠中的溶劑、哈默納科精密扁平諧波CSF-25-160-2A-GR增強光刻膠的粘附性、釋放旋轉涂膠產生的內應力、改善線寬控制、防止光刻膠粘附到其他器件上。軟烘在真空熱板上進行
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