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臺(tái)泉鈦材質(zhì)立式液下泵，泵體采用鈦合金精密鑄造成型，無(wú)砂孔問(wèn)題，可耐強(qiáng)酸堿和強(qiáng)腐蝕。電機(jī)與泵體是一體形同軸設(shè)計(jì)，不僅僅保證了電機(jī)的穩(wěn)固性，而且水泵具備了空轉(zhuǎn)性能。水泵廣泛使用于電渡、涂裝、化工、PCB線(xiàn)路板、環(huán)保設(shè)備等方面。
鈦泵由兩組主泵和一組次泵組成，其排列位置如。 鈦吸附泵主要由鈦升華器和吸附器兩大部分組成，本文將主要從這兩方面介紹我們的設(shè)計(jì)和計(jì)算過(guò)程。根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求，兩個(gè)真空室的兩組鈦泵的抽速要求分別為8.0×105L/s和1.5×105L/s。如果氣體壓強(qiáng)很低(氣體分子數(shù)遠(yuǎn)小于蒸著的鈦分子數(shù))，鈦蒸著率足夠高，即使再增大比蒸著率，所捕獲的分子數(shù)也不再增加，此時(shí)的粘著系數(shù)達(dá)到最大值并稱(chēng)為“本征粘著系數(shù)”。它在一定范圍內(nèi)與比蒸著率無(wú)關(guān)，是表征新鮮鈦膜吸氣特征的一個(gè)重要物理量。對(duì)于H2，液氮冷卻下的e比水冷的室溫下的要大幾倍，但從造價(jià)低和操作方便考慮，選用水冷。根據(jù)以往相關(guān)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，室溫下鈦表面對(duì)氫的抽速為1～1.5L/scm2，我們按1.1L/scm2設(shè)計(jì)。
