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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | ANELVA | 型號 | M-311HG |
| 材質 | 金屬 | 壓力環境類型 | 真空閥(PN<0.1MPa) |
| 壓力環境 | 常壓 | 流動方向 | 單向 |
| 適用介質 | 氧氣 | 流動方向 | 單向 |
| 類型(通道位置) | 二通式 | 加工定制 | 否 |
青島平山技研ANELVA真空計M-311HG
寬壓力測量范圍
10-7Pa～10Pa，不犧牲高真空側的特性，可以測量到超過濺射工藝的低真空區域
高響應模擬輸出
壓力值的模擬信號輸出確保100msec以內的高響應性，也可用于過程壓力控制
4個發射電流設定模式
在高壓區域側使用時的燈絲壽命改善等，可以根據用途進行選擇
青島平山技研ANELVA真空計M-311HG
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