產品詳情
PI 壓電平臺P-915KPPS XY-Theta-Z 系列詳情
XY 平面的 3 個自由度
行程范圍 250 μm × 250 μm，16 mrad
無摩擦、高精度的撓性導向系統
超過 1 N/μm 的高剛度
PICMA® 壓電執行器具有出色的使用壽命
P-915KPPSXY-Theta-Z 載物臺
250 μm × 250 μm
± 8 毫拉德
3納米
15 微弧度
2 公斤
45 毫秒（250 微米）
28 毫秒（16 毫弧度）
60 毫米 × 60 毫米 × 100 毫米
PI 壓電平臺P-915KPPS XY-Theta-Z 系列詳情
XY 平面的 3 個自由度
行程范圍 250 μm × 250 μm，16 mrad
無摩擦、高精度的撓性導向系統
超過 1 N/μm 的高剛度
PICMA® 壓電執行器具有出色的使用壽命
P-915KPPSXY-Theta-Z 載物臺
250 μm × 250 μm
± 8 毫拉德
3納米
15 微弧度
2 公斤
45 毫秒（250 微米）
28 毫秒（16 毫弧度）
60 毫米 × 60 毫米 × 100 毫米
PI 壓電平臺P-915KPPS XY-Theta-Z 系列詳情
