產品詳情
PI 高精度線性平臺N-565具有亞納米編碼器分辨率
具有亞納米編碼器分辨率的 NEXACT ®壓電步進驅動器
超精密：3 nm 小增量運動和 0.5 nm 分辨率的直接測量 PIOne 編碼器
長行程：13 mm、26 mm 或 52 mm
關閉時自鎖：節省能源并減少熱量的產生
由于 PiezoWalk® 技術，使用壽命長且可靠性高
緊湊型設計：65 毫米寬，20 毫米高
NEXACT ®參考級線性平臺
帶有 NEXACT® PiezoWalk® 驅動器的線性平臺可在長行程范圍內實現納米范圍內的高精度定位。它們配備了直接測量線性編碼器和交叉滾子軸承，以實現精度。
使用 PIOne 線性編碼器進行直接位置測量
高分辨率 PIOne 編碼器由 PI 開發，通過對測量值進行相應處理，可實現遠小于 1 納米的位置分辨率。此外，由于信號周期短、信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne 編碼器在評估參考信號時支持方向感應。
PiezoWalk ®技術：高分辨率和低磨損
PiezoWalk® 技術結合了壓電執行器和壓電馬達的技術優勢。PiezoWalk® 行走驅動器不僅提供亞納米級分辨率、高力和高剛度，而且在理論上允許無限的行程范圍。與其他壓電驅動原理相比，PiezoWalk® 行走驅動器不受滑動摩擦影響。它們基于沿流道步進的多個壓電執行器的靜摩擦接觸。靜止時，PiezoWalk® 行走驅動器是自鎖的，不消耗能量，也不產生熱量。
應用領域
樣品操作、樣品定位、高精度和穩定性的光學或機械部件、半導體工業中的精密機械、顯微操作、顯微鏡、自動化、有限空間中的應用、非磁性環境中的應用。
PI 精度線性平臺N-565具有亞納米編碼器分辨率
具有亞納米編碼器分辨率的 NEXACT ®壓電步進驅動器
超精密：3 nm 小增量運動和 0.5 nm 分辨率的直接測量 PIOne 編碼器
長行程：13 mm、26 mm 或 52 mm
關閉時自鎖：節省能源并減少熱量的產生
由于 PiezoWalk® 技術，使用壽命長且可靠性高
緊湊型設計：65 毫米寬，20 毫米高
NEXACT ®參考級線性平臺
帶有 NEXACT® PiezoWalk® 驅動器的線性平臺可在長行程范圍內實現納米范圍內的高精度定位。它們配備了直接測量線性編碼器和交叉滾子軸承，以實現精度。
使用 PIOne 線性編碼器進行直接位置測量
高分辨率 PIOne 編碼器由 PI 開發，通過對測量值進行相應處理，可實現遠小于 1 納米的位置分辨率。此外，由于信號周期短、信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne 編碼器在評估參考信號時支持方向感應。
PiezoWalk ®技術：高分辨率和低磨損
PiezoWalk® 技術結合了壓電執行器和壓電馬達的技術優勢。PiezoWalk® 行走驅動器不僅提供亞納米級分辨率、高力和高剛度，而且在理論上允許無限的行程范圍。與其他壓電驅動原理相比，PiezoWalk® 行走驅動器不受滑動摩擦影響。它們基于沿流道步進的多個壓電執行器的靜摩擦接觸。靜止時，PiezoWalk® 行走驅動器是自鎖的，不消耗能量，也不產生熱量。
應用領域
樣品操作、樣品定位、高精度和穩定性的光學或機械部件、半導體工業中的精密機械、顯微操作、顯微鏡、自動化、有限空間中的應用、非磁性環境中的應用。
PI 精度線性平臺N-565具有亞納米編碼器分辨率
