產品詳情
負壓切換單元
型號
MV3QR
是充分發揮3QR系列的小型、大流量、高響應特點,不使用真空破壞閥的真空吸附單元。有自復位型和自保持型。
行業
安裝
【無需真空破壞閥】
通過無正壓的真空脫離,無需采取措施防止極小芯片被吹走。
無需繁瑣地調整破壞壓力、流量及定時。
不使用真空破壞閥,實現了精簡化。
【占用空間最小化】
與以往的帶破壞單元相比,安裝面積減少44%,重量減少53%,最適用于制造裝置的小型化。
即使在極小空間也可安裝,裝置設計的自由度更高。
通過輕量化,便于安裝在裝置可動部。
【可配備壓力傳感器】
單元中配備真空用壓力傳感器,外形更小巧。
負壓檢測也實現省空間。
采用U形卡銷固定壓力傳感器,提高可維護性。
【可安裝真空用過濾器】
配管過程中無需安裝過濾器。
真空用過濾器采用快插式更換。


