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本工藝有3至9個微波激發單位,根據被處理風量的不同數量不同,微波由于它的頻率相對比較高,在納秒的時間內有效作用于被處理空間(區域),由于微波的功率相對較小,因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限,本設計只是把微波作為初頻激發源,在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能,極大的提高等離子體區,極板區的激發能力和處理效果,由于微波技術的運用,本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優越。
電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體,在實際使用中實現廢氣的有效處理是極為復雜的過程,整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理,通過三種方式的集中放電,廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級,廢氣分子鍵充分斷裂,在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量更小,被進一步躍遷,與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應,生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用,徹底去除不同范疇的廢氣化合物,實地較為廣譜的去除空間。


