產品詳情
| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| OSAKA大阪分子泵 TGkine3300M-R / TGkine3400M-R 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 吸氣口法蘭 | VG300 / ISO-B320 | ||
| 排氣口法蘭 | KF40 / KF50 | ||
| 排氣速度N2 (L/s) | 3300/3100 | ||
| 排気速度H2 (L/s) | 2700 | ||
| 大壓縮比N2 (sccm) | 2600 | ||
| 大壓縮比Ar (sccm) | 1900 | ||
| 起動時間 | ≦11min | ||
| 停止時間 | ≦13min | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號 | TGkine3300M-R / TGkine3400M-R | ||
省電設計?????
在真空泵本體中，可存儲設置參數，運轉數據及異常歷史等。?
※即使在維護階段更換控制器，也可實現全數據轉移。?????
支持多種通信接口規格 （兼容EtherCAT通信協定）?????
適用于國際規格 CE/NRTL/SEMI-S2產品用途：半導體制造設備
FPD制造設備
太陽能電池制造設備
玻璃/鏡片等光學部件加工
鍍膜工藝
加速器/宇宙環境模擬器
技術參數：
| 型號※1 | TGkine3300M-R | TGkine3400M-R | |
| 吸氣口法蘭 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
| 排氣口法蘭※2 | KF40 / KF50 | ||
| 排気速度 | N2?(L/s) | 3300 | |
| N2 (付帶金屬保護網)?(L/s) | 3100 | ||
| H2?(L/s) | 2700 | ||
| zui大壓縮比 | N2 | >1×108 | |
| H2 | 3×103 | ||
| zui大氣體流量※3、※4 | N2?(sccm) | 2600 | |
| Ar?(sccm) | 1900 | ||
| 起動時間 | (min) | ≦11 | |
| 停止時間 | (min) | ≦13 | |
| 到達壓力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
| (Torr） | <1.5×10-9 | ||
| zui大排氣口壓力※6 | (Pa) | 110 | |
| (Torr） | 0.82 | ||
| 推薦前級泵 | (L/min) | ≧2000 | |
| 安裝方向 | 任意 | ||
| 質量 | (kg) | 64 / 65 | 67 |
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