產品詳情
| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 吸氣口法蘭 | VG100CF100ISO-R100 | ||
| 極限壓力 | 1×10-6Pa | ||
| 啟動時間 | 2分~2.5分 | ||
| 停止時間 | 5分~6.5分 | ||
| 安裝角度 | 任意 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
OSAKA大阪真空
全方位安裝復合分子泵 TG-F系列
使用了脂潤滑陶瓷軸承，實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動，耐沖擊能力強，可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部，拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產品。
產品型號：
TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F
TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F
產品特點：
全方位安裝
?輕巧設計
?節能
?迅速啟動
?使用破控功能可迅速停止
?耐大氣沖擊能力強
?多種通信模式
?符合安全規格NRTL/SEMI-S2/CE
產品應用：
半導體制造
?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質
?各種電子部件的制造
?分析，試驗裝置
?管球制造，光學部件制造
?加速器，放射線設施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列
技術參數：
| 吸氣口法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
| 排氣速度 | VG/ISO-R?CF N2?(L/s) | 350/330 |
| VG/ISO-R?CF N2(附加金屬保護網) (L/s) | 330/310 | |
| VG/ISO-R?CF H2?(L/s) | 210 | |
| zui大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 極限壓力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| zui大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
| 啟動時間 | (min)? | 2-2.5 |
| 停止時間 | (min) | 5-6.5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
- ※1：輔助泵的容量是160L/min情況下的zui大容許流量
- [ 使用環境溫度 ]
- 極限壓力保證環境溫度是10～23℃。另外，容許環境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。
控制器型式 TC353 輸入電壓(ACV) 100-110 (±10) / 200-230 (±10) 輸入頻率(Hz) 50/60 相數 単相 所需zui大電力(VA) 610 輸出頻率(Hz) 750 重量(kg) 2.7 標準附屬品 ?輸入接頭 1個
?遠控接插頭 1個
?通信接插頭1個
?使用說明書 (機身，通信)各1套
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