產品詳情
| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | OSAKA | ||
| 吸氣口法蘭 | ISO-B250/VG250 | ||
| 排氣口法蘭 | KF40/KF50 | ||
| 排氣速度N2(L/s) | 2200 | ||
| 起動時間 | ≦10min | ||
| 排氣速度H2(L/s) | 1800 | ||
| zui大壓縮比N2 | 2×108 | ||
| zui大壓縮比H2 | 3×103 | ||
| 安裝方向 | 任意 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號 | TGkine2200M-R | ||
OSAKA大阪真空
TGkine-R系列磁懸浮復合分子泵
具備了磁懸浮復合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列穩定的產品性能及廣受好評的特性，本系列更搭載了將工作數據、軸承使用次數等記憶在泵本體中的存儲功能，即使在維修期間更換控制器，也能夠傳輸數據。
產品特點：
省電設計??????在真空泵本體中，可存儲設置參數，運轉數據及異常歷史等。?
※即使在維護階段更換控制器，也可實現全數據轉移。??????
支持多種通信接口規格 （兼容EtherCAT通信協定）??????
適用于國際規格 CE/NRTL/SEMI-S2產品應用：半導體制造設備
FPD制造設備
太陽能電池制造設備
玻璃/鏡片等光學部件加工
鍍膜工藝
加速器/宇宙環境模擬器技術參數：
| 型號※1 | TGkine2200M-R | |
| 吸氣口法蘭 | ISO-B250 / VG250 | |
| 排氣口法蘭※2 | KF40 / KF50 | |
| 排氣速度 | N2?(L/s) | 2200 |
| N2 (付帶金屬保護網)?(L/s) | 2100 | |
| H2?(L/s) | 1800 | |
| zui大壓縮比 | N2 | >2×108 |
| H2 | 3×103 | |
| zui大氣體流量※3、※4 | N2?(sccm) | 7000 |
| Ar?(sccm) | 3000 | |
| 起動時間 | (min) | ≦10 |
| 停止時間 | (min) | ≦10 |
| 到達壓力※5 | (Pa) | <2×10-7 |
| (Torr) | <1.5×10-9 | |
| zui大排氣口壓力※6 | (Pa) | 220 |
| (Torr） | 1.65 | |
| 推薦前級泵 | (L/min) | ≧2000 |
| 安裝方向 | 任意 | |
| 質量 | (kg) | 59 |
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