產品詳情
設備介紹： 本設備是借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)。
主要特點：
1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。
4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。
5、廣泛應用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
|
開啟式真空管式爐技術參數 |
|
|
石英管尺寸 |
Φ100*L1200mm |
|
加熱元件 |
電阻絲 |
|
測溫元件 |
N型熱電偶 |
|
加熱區/恒溫區 |
440mm/200mm |
|
工作溫度 |
≤1100℃ |
|
控溫模式 |
PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制 |
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
電功率 |
AC220V/50HZ/3KW |
|
質量供氣系統 |
|
|
標準量程 |
50-500ml/min |
|
壓力表測量范圍 |
-0.1Mpa～0.15Mpa |
|
極限壓力 |
3MPa |
|
針閥 |
316不銹鋼 |
|
電功率 |
AC220V/50HZ/20W |
|
響應時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
|
重復精度 |
±0.2% |
|
真空系統參數 |
|
|
工作電電壓 |
220V±10% 50~60HZ |
|
功率 |
400W |
|
極限真空 |
4X10-1Pa |
|
進/排氣口口徑 |
KF25 |
|
射頻電源 |
|
|
信號頻率 |
13.56 MHz±0.005% |
|
功率輸出范圍 |
5W-500W |
|
供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
|
整機效率 |
>=70% |
