產品詳情
智能控制:采用氣動平起式開蓋方式。大開蓋度:300mm,設有上、下位置開關,保證靈敏可靠。
電源電壓:ac380v/3相/,供電平衡。,設備大功率75kw,正常工作低于20kw,加熱板高溫度:180度。
高效節能:獨特的油路設計,特殊制造工藝,加熱板平整度±0.2mm滿足超薄硅片的封裝要求。
溫控方式:西門子專業溫度采集模塊(rtd)多點溫度監測采樣進行pid整定調節控制固態輸出,溫控精度高、安全可靠。
操作控制方式:采用海泰克觸摸屏與plc組成控制系統,控制靈敏可靠。
膠板安裝方式:快速卡鉗式安裝,
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