產品詳情
清洗槽用于6/8吋兼容，集成電路制造工藝的最終清洗。配合LOAD and
UNLOAD的上下料，實現干進干出，每批次50枚Cassette Type的高效清洗。共有三種工藝槽，三水槽+一個干燥單元：
1個DHF清洗槽、1個OF槽、1個SC-1槽、1個QDR槽、1個SC-2槽、1個QDR槽、1個干燥槽。
設備功能:
Chemical BATH: 自動換酸，自動洗槽，自動槽內配比。
DIW BATH : Pre Flow and After Change Function。
S/D : 6/8 Inch 自動換位，旋干。
機械手臂:Chuck Open/Close Type，Speed 為可控變動；
Scheduler: 排程計算，實現多批次同時清洗，不發生Process Over Time。
Safety: Door，TEMP，LEVEL，Exhaust…等等INTERLOCK Safety。
設備工藝流程:
進貨區(LOAD)→DHF(100:1)→OF 槽→SC-1 槽→QDR 槽→SC-2 槽→QDR 槽→S/D 槽→→出貨區(UNLOAD)
High WPH Type: AWB200-T。雙Cassette 50 枚/槽。
6/8 inch 兼容Cassette Type。
前面式機械手臂: ARM-1、ARM-2、ARM-3 共三套。
機臺上部設有高效過濾器（FFU)。
工藝技術指標:
1. 該設備應實現全自動作業，可自動過程控制工藝、沖水及干燥全套作業，
并具備自動供液、自動洗槽、SC1-1槽帶有兆聲；可編程選擇工藝槽及工
藝時間進行清洗。
2. 通過DHF/SC-1/SC-2完成最終清洗工藝，對圓片表面沾污及顆粒實現有效
清洗。顆粒要求0.2um，0.16um作為參考，金屬1E10。
3. N2過濾精度：0.01μm 。
