產品詳情
產品簡介：本設備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長。可制備出gao質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
? ? BTF-1200C-PECVDgao溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。gao溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提gao了發熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報jing保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求，關鍵電氣元件采用優質的進口產品，做到gao性能、免維護，提gao了設備質量的可靠性。?
|
zuigao溫度 |
1200℃ |
|
使用溫度 |
≤1100℃ |
|
爐膛有效尺寸 |
Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據實際需要定制。） |
|
爐膛材料 |
氧化鋁、gao溫纖維制品 |
|
熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
控溫方式 |
30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序。 |
|
加熱長度 |
200+200+200mm |
|
恒溫長度 |
400mm |
|
加熱原件 |
電阻絲 |
|
供電電源 |
單相，220V，50Hz |
?2、PE射頻電源
|
功率輸出范圍 |
0W~500W |
|
zui大反射功率 |
100W |
|
射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
|
功率穩定度 |
≤5W |
|
諧波分量 |
≤-50dbc |
|
供電電壓 |
單相交流（187V-253V）?頻率50/60HZ |
|
整機效率 |
>=70% |
|
功率因素 |
>=90% |
|
冷卻方式 |
強制風冷 |
3、三路質子流量控制系統
|
連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
|
標準量程（N2) |
50sccm，100sccm、500sccm （可根據用戶要求定制） |
|
準確度 |
±1.5%F.S |
|
線性 |
±1%F.S |
|
重復精度 |
±0.2%F.S |
|
響應時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
|
工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
|
zui大壓力 |
3MPa |
|
接口 |
Φ6,1/4'' |
|
顯示 |
4位數字顯示 |
|
工作環境溫度 |
5~45gao純氣體 |
|
壓力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
|
截止閥 |
Φ6 |
|
內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
4、低真空機組
|
空氣相對濕度 |
≤85% |
|
工作環境 |
5℃～40℃ |
|
工作電電壓 |
220V±10% ?50~60HZ |
|
功率 |
1KW |
|
抽氣速率 |
10m3/h |
|
極限真空 |
5X10-1Pa |
|
工作壓力范圍 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
|
耐壓值 |
0.03MPa |
|
容油量 |
1.1L |
|
進氣口口徑 |
KF25 |
|
排氣口口徑 |
KF25 |
|
噪音 |
50dB |
|
連接方式 |
采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
