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電子工業用氧化亞氮雜質含量分析

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江蘇科海檢驗有限公司

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氧化亞氮



尾氣中一氧化二氮的回收利用

制備N2O的主要方法熱分解法和氨 的接觸氧化法。據報道,目前國內生產N2O基本都 是采用干法分解的生產工藝,該工藝也是目 前國際通用化流程,但是設備成本較高。

直接制 備得到的產品純度通常較低,經純化后純度達到 99% 的產品能夠滿足藥物等領域的應用,但對于微 電子領域而言,這樣的純度遠不能夠達到指標要求。 在N2O產品純化方面,已有相關研究報道了以 低純度N2O為原料,利用純化工藝制備高純N2O的 方法,并對低純度原料氣中的各種雜質脫除進行了 相關的實驗研究。 多數化工企業為了達到環保要求,會在尾氣排 放前進行N2O脫除處理。然而,考慮到N2O作為產 品的廣泛應用前景以及直接制備該產品的成本問題,當尾氣中N2O含量較高時,如硝酸和己二酸生 產過程所產生的尾氣,選用直接脫除的處理方法雖 然可以滿足環保要求,卻也是一種對潛在資源的浪費。因此,回收純化制備不同級別的N2O產品技術 已經引起較多的關注,在滿足環保要求的同時,利用 副產品實現收益。目前,山東金博環保科技有限公 司以及金宏氣體同河南平頂山神馬集團公司合作正 在籌劃建設產能可觀的尾氣回收純化N2O的工程項目。


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