產品詳情
產品特點
垂直平升行程可達50mm，整體尺寸結構緊湊，速度可達50mm/s，最大負載60kg
高精度交叉滾柱導軌，無槽無刷力矩電機，低膨脹系數光柵有助實現納米級微動步距
高可靠性驅動機構，使用壽命長
應用領域
RBZ-SG系列是一款長行程的精密平升Z軸，具有納米級微動步距，高動態性能，結構緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、測試測量、生物工程等高精度行業。
結構特點
RBZ-SG系列直驅結構，承載能力大，在一個長行程的移動范圍，保持盡可能低的高度，優化阿貝誤差影響，有助于提高整體精度性能。抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標提供創新解決方案。
直驅結構
力矩電機作為直驅方式，沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯軸器中間傳動環節，RBZ-SG平升Z軸直接托舉負載運動，相對側升結構Z軸，無需轉接板，負載重心布置在Z軸中心，有利于運行過程減小俯仰和偏擺的影響。
光柵閉環反饋
RBZ-SG平升Z軸為雙閉環反饋，直線光柵和圓光柵相結合的雙反饋方式，直接測量工件移動時的誤差，提高了精度性能。
規格指標
|
型號 Model |
單位 Units |
RBZ-10SG |
RBZ-15SG |
RBZ-20SG |
RBZ-25SG |
|
|
行程 Travel |
mm |
10 |
15 |
20 |
25 |
|
|
補償后定位精度 Accuracy |
高精版 Plus |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
|
普通版 Standard |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
||
|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
高精版 Plus |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
|
普通版 Standard |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
||
|
直線度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
普通版 Standard |
±3 |
±3 |
±3 |
±4 |
||
|
俯仰、翻滾 (1) Pitch Roll |
高精版 Plus |
arc sec |
±2.5 |
±2.5 |
±2.5 |
±2.5 |
|
普通版 Standard |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
||
|
偏擺 (1) Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±2 |
±2 |
±2 |
±2 |
|
普通版 Standard |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
||
|
電子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
≤ 1, ≤ 5（選配） |
||||
|
最大速度 (空載) Max Speed (No Load) (3) |
mm/s |
10 |
||||
|
最大負載 Max Load |
kg |
20 |
40 |
|||
|
型號 Model |
單位 Units |
RBZ-30SG |
RBZ-35SG |
RBZ-45SG |
RBZ-50SG |
|
|
行程 Travel |
mm |
30 |
35 |
45 |
50 |
|
|
補償后定位精度 Accuracy |
高精版 Plus |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
|
普通版 Standard |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
||
|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
高精版 Plus |
μm |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
|
普通版 Standard |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
||
|
直線度 (1) Straightness |
高精版 Plus |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
±0.75 |
|
普通版 Standard |
±4 |
±4 |
±5 |
±5 |
||
|
俯仰、翻滾 (1) Pitch Roll |
高精版 Plus |
arc sec |
±2.5 |
±2.5 |
±3.5 |
±3.5 |
|
普通版 Standard |
±5 |
±5 |
±7 |
±7 |
||
|
偏擺 (1) Yaw |
高精版 Plus |
arc sec |
±2 |
±2 |
±3 |
±3 |
|
普通版 Standard |
±5 |
±5 |
±7 |
±7 |
||
|
電子分辨率 Electronic Resolution (2) |
nm |
≤ 1, ≤ 5（選配） |
||||
|
最大速度 (空載) Max Speed (No Load) (3) |
mm/s |
10 |
50 |
|||
|
最大負載 Max Load |
kg |
40 |
60 |
|||
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，普通版振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度5mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
4. 無特殊項目要求，出廠默認為準。
