產品詳情
產品特點
開式氣浮疊層結構
結構緊湊、精度高
重復定位精度±50nm
直線度±0.1μm，平面度±0.15μm
根據需求可定制
高柔線纜管理
應用領域
QFL-XY系列是一款結構緊湊的雙軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導體及光子學等行業，由于非接觸式運動，精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。
結構特點
雙軸氣浮運動臺采用開式氣浮導軌，直線電機和光柵尺組成，永磁預載結構，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點低等特點，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩定。非接觸式氣浮結構，免維護運行，隨著時間推移，不會出現磨損或性能下降。
精度性能
QFL-XY軸雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw±0.5arc sec，以上為全行程精度指標，由于非接觸式運動結構，氣浮運動臺的跟隨誤差有了質地提升，精度性能得到顯著提高。
線纜管理
使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統抗干擾能力。
定制化
根據應用，結構可定制化設計，如增加平升或楔形Z軸，轉臺等?？膳渲么罄硎?、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上?？蛇x配主動隔振系統，適合高抖動的應用領域。
規格指標
|
型號Model |
單位Units |
QFL-25-25 |
QFL-50-50 |
QFL-75-75 |
||||
|
軸系Axis |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
25 |
25 |
50 |
50 |
75 |
75 |
|
|
補償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.02 |
±0.05 |
±0.05 |
|||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
|||||
|
單向重復定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±5 |
±7.5 |
±7.5 |
|||
|
高精版Plus |
±20 |
±40 |
±40 |
|||||
|
普通版Standard |
±30 |
±75 |
±75 |
|||||
|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.01 |
±0.01 |
|||
|
高精版Plus |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
|||||
|
普通版Standard |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.25 |
±0.25 |
|||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
|||
|
普通版Standard |
±0.25 |
±0.35 |
±0.35 |
|||||
|
俯仰、翻滾、偏擺(1) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.25 |
±0.35 |
±0.35 |
|||
|
普通版Standard |
±0.5 |
±1 |
±1 |
|||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
10 |
5 |
5 |
|||
|
普通版Standard |
20 |
10 |
10 |
|||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
50 |
||||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3) |
m/s2 |
1,（5定制） |
||||||
|
最大負載Max Load |
kg |
10 |
||||||
|
供氣壓力Operating Pressure(4) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||||
|
型號Model |
單位Units |
QFL-100-100 |
QFL-125-125 |
QFL-150-150 |
||||
|
軸系Axis |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程Travel |
mm |
100 |
100 |
125 |
125 |
150 |
150 |
|
|
補償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|||
|
高精版Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
普通版Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
|||||
|
單向重復定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±7.5 |
±7.5 |
±10 |
|||
|
高精版Plus |
±40 |
±40 |
±40 |
|||||
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
|||||
|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
±0.01 |
±0.015 |
|||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
|||
|
普通版Standard |
±0.25 |
±0.4 |
±0.4 |
|||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
|||
|
普通版Standard |
±0.4 |
±0.5 |
±0.5 |
|||||
|
俯仰、翻滾、偏擺(1) Pitch Roll Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.4 |
±0.45 |
±0.5 |
|||
|
普通版Standard |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
|||||
|
正交性 Orthogonality |
高精版Plus |
arc sec |
2 |
2 |
2 |
|||
|
普通版Standard |
5 |
5 |
5 |
|||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載)Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
50 |
||||||
|
最大加速度(空載)Max Acceleration (No Load)(3) |
m/s2 |
1,（5定制） |
||||||
|
最大負載Max Load |
kg |
10 |
||||||
|
供氣壓力Operating Pressure(4) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||||
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈恒溫間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm高度處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載。
4. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
5. 無特殊項目要求，出廠默認為準。
