產品詳情
產品特點
XYZ行程300mm*300mm*150mm
三軸大中空結構
雙直驅線軌結構
龍門交叉解耦控制算法
定位精度±0.6μm
全行程直線度±0.9μm
優化線纜管理系統
結構、行程可定制
應用領域
RBZK-300XY-150Z三軸中空精密運動臺用于光學檢測。
產品簡介
三軸中空精密運動平臺采用雙直線電機驅動，精密滑塊滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋，行程300mm*300mm*150mm，三軸均為雙驅龍門結構，采用龍門交叉解耦算法，保證雙驅運動一致性，定位精度±0.6μm，中間帶大通孔應用于光學檢測領域。
大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好，應用于運動臺上質量可靠，品質有保障。大理石做模態分析，優化結構尺寸，可依據客戶的要求做最終設計。
規格指標
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軸系 Axis |
測試項目 Test Items |
單位 Units |
指標 Specification |
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X 底軸 X Bottom AXIS |
行程 Travel |
mm |
300 |
|
補償后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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|
直線度 Straightness |
μm |
±3.5 |
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工作速度 Operating Speed |
mm/s |
200 |
|
|
加速度 Acceleration |
m/s2 |
10 |
|
|
微動步距 Min Incremental Motion |
nm |
30 |
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Y 上軸 Y Top AXIS |
行程 Travel |
mm |
300 |
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補償后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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直線度 Straightness |
μm |
±3.5 |
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工作速度 Operating Speed |
mm/s |
200 |
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|
加速度 Acceleration |
m/s2 |
10 |
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微動步距 Min Incremental Motion |
nm |
30 |
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Z 軸 Z AXIS |
行程 Travel |
mm |
150 |
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補償后定位精度 Accuracy |
μm |
±1 |
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|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
μm |
±0.5 |
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|
工作速度 Operating Speed |
mm/s |
200 |
|
|
加速度 Acceleration |
m/s2 |
10 |
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XY |
負載Load |
kg |
50 |
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Z |
負載Load |
kg |
70 |
