配件名稱	配件型號
冷泵	U20P
機械泵組	PS602-SC
真空計	390417-0-YE-T
冷泵	U20P
機械泵組	PS602-SC
真空計	390417-0-YE-T
冷泵	U20P
機械泵組	PS602-SC
冷泵	CT-8
機械泵組	干泵 GV80 羅茨泵 BSJ70L
真空計	MPG400
干泵3個	NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E
真空計A	/
真空計B	/
真空計C	/
干泵3個	NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E
真空計A	/
真空計B	/
真空計C	/
冷泵	COOLVAC 1000iCL
機械泵	EV-S50P
真空計	SERIES 355
真空計	PSG500-S
冷泵	DZB550
機械泵組	干泵 GSD120B 羅茨泵 BSJ150L
真空計	PSG500
真空計	MPG400
分子泵×3	TYFB-2000Z兩個 TYFB-1300Z一個
機械泵組	干泵 GV80 羅茨泵 BSJ70L
真空計	PSG500
真空計	MPG400

Lam PN:796-160763-101 Turbo Pump With TMP Controller and Asscioations TMP-2404LMTC(L2愛德華 EDWARDS STP- iXA4506CV分子泵

AMAT3870-01767閥門VALVE PNEU DIAPH 140PSIG CTI ON-BOARD500 Cryopump ISO KPD p/n8116544G002

主要的真空泵維修品牌有：日本Kashiyama真空泵維修，日本Shimadzu島津分子泵維修，英國Edwards愛德華真空泵維修，德國Pfeiffer普發真空泵維修，

德國Leybold萊寶真空泵維修，美國Agilent安捷倫真空泵維修，日本巖田真空泵維修，法國ALCATEL真空泵維修，日本愛發科ULVAC真空泵維修,瑞士VAT閥門等進口真空泵維修，

真空泵油及其配件耗材等。公司自成立以來以快速的反映能力，過硬的質量，優質的服務，性價比高廣受好評。

3000平米維修車間 3大維修中心

MKS Gauge356006-YE 355400-0-YE-T   STP-XA2730  AKT CVD POWER P/N 0190-71517 REV 1直流電源

Micro_Ion Gauge 355 Micro ion 90（355018）

PFEIFFERVACUUM真空泵MVP020-3 DC

普發ACP15,40, 愛德華nxds 6i,10i，15i,20i,XDS 5,10,kashiyama neodry 30EAMAT3930-01147oem MKS VODM33CR1BE

HORIBA流量計injection valve3030-17632/3030-18942

氣體質量流量計氣體流量控制MKS 1159B 通用型

目前所做的MFC的相關品牌和型號如下列出：MKSGE50A質量流量控制器 UNIT、TYLAN、MKS、STEC、BROOKS、AREA； UNIT:UFC-1000 1100 1200  1500 1660 8100 8160 1661 8161； Tylan: FC-260 261 2900v 2900M 2901 280； MKS:1149A 1479A 1159B； STEC:SEC-4400 E40 E50 7440 7330 7340 440J 410 510； Brooks 5850E 5851E 5850EM 5964 GF100 5850I 5853； AERE：FC-7700 7800  770AC 780C 7710CD 7810CD R7700CD R7800CD 980C D980

MKS電源EDGE210R40A-G12/660-210103-225CMLH-31-120S09

MKS7650/AX7651電源RPS銷售和維修

MFC-BF3/PH3

GRANVILLE-PHILLIPS/MKS390510-2-YG-T/355400-0-TE-T/355400-0-YE-M

AMAT1350-01173氣體控制器壓力控制器mks640B-29652/640A14312

MKS Type 640 Pressure Controller 640A21TW1VA2V-S new

貨物清單號  # CONB-2509

這個MKS壓力控制器是全新的，工程剩余產品，性能和外觀都非常完美。如果您的設備上有類似產品需要進行更新替換，請聯系我們購買。

產品說明:

Model No: 640A21TW1VA2V-S

Range: 20 Torr

VCR connection, 15 pin interface

CE marked

Made in USA

拍前請聯系店主  普發真空計PKR251 英?？?

產品簡介：

瑞士INFICON PEG100潘寧真空計，這款堅固的潘寧冷陰極電離真空計可準確測量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空壓力。 還有現場總線可供選擇。

PEG100潘寧真空計 的詳細介紹

INFICON  PEG100潘寧真空計提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現單絲燒毀的現象。 由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低，潘寧真空計還可在濺射應用環境下運行。 現場總線選件以及對數模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協議，將真空計輕松集成到真空系統中。
PEG100潘寧真空計益處：

• 測量范圍廣，從 1 x 10^-9 至 1 x 10^-2 毫巴（7.5 x 10^-10 至 7.5 x 10^-3 托）

• 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置

• 創新的電極幾何形狀提供***的點火屬性

• 等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險，即使在有氬氣的濺射運行中

• 陽極環和鈦陰極可輕松進行清潔或更換

• ***小化真空計附近的磁場強度

• 用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器

• 對數模擬輸出信號

• 現場總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中LF-410A-EVD TEOS 1g/min 1.5g/min 3g/min 4g/min

PEG100潘寧真空計典型應用：

• 高真空壓力監控

• 蒸發濺射系統

• 高真空范圍內的一般真空測量和控制

PEG100潘寧真空計選型指南：

PEG100零件號說明351-000 351-002 351-003 351-004 351-005

真空計

PEG100-P 規管

PEG100D 型真空計

PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F

PEG100-P 規管

備件

PEG100零件號說明351-490

陰極片

HP . HP+ . HDP Robot 維修

FOR: AMAT 200 mm Centura . Endura . RTP . HTF . HDP . MXP . SUPER E . DPS . WCVD .

mks640A-14312/640A-29747流量壓力計60/100psl現貨供應

brooksinstrument VDM300維修與銷售lam796-055344R007

MKS質量流量計1179A00423CR1BV氣體Ar 2000sccm

LAM796-055344-005水蒸汽輸送模塊brooksinstrument VDM300

27-126062-00                                                                                       3310-01071   ？；                                                                                     1350-01027   ？；                                                                                               1350-01021   ？；                                                                                                60-10006-00 275821                                                                                             3310-01055 275185                                                                                         27-126029-00 629B-15894

美國CTI-Cryogenics 、CVI、Austin，德國Leybold、日本Anelva、住友重工 (SHI、APD 、Daikin)、 ULVAC、Suzuki等公司低溫泵 冷凝泵。

提供GM及SV 冷凝泵 低溫泵 的配件。

下面是出售的部分冷泵及配件（還有很多配件沒有上傳，歡迎來電咨詢）：



ON BOARD 8F CRYOPUMP AMAT ENDURA 8116143G001


CTI-TOR8

Cryo-Torr Interface 8135903G001

Granville-Phillips Vacuum Guage Controller NR

15K High Capacity Array

CTI Maintenance Kits

Helium Line AMAT 3400-01109 CTI 8043086G240

TC Gauge 8112105

Cryo-Torr Interface 8135903G001

mks TYPE670真空計校準儀690傳感器

722C01TCD2FJ電子真空計MKS真空壓力計 1TORR 4VCR

brooksinstrument VDM300維修與銷售lam796-055344R007

MKS  MFVC-29886  MKS  MFVC-34785 MKS  MFVC-32497  MKS  VODMB-26565  LAM 797-004456R005 MKS390100-YG 275071 392100-YE MKS-226A-29571 AMAT0190-50856  0190-51152  MKS649A12T51CAMR 1179A01922CR1AV-K MKS GE50A-30351

BROOKS AUTOMATION控制器維修978-262-2900（165463）

MKS SENTRY 1510流量計AERA EPV100-AW

TEL設備流量計維修ckd tpr4-35-A100T-X0002

cooling

EDwardsSTP-H1303C分子泵加SCU-800控制器現貨

美國FIL-TECH 對流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/1

VAT APC Controller(PM7)796-098290-002

mks真空計356004-YG-THORIBA VALVE全新原件0190-36237流量計

MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 真空計AMAT氣體流量計0190-51152

Granville-Phillips 隔膜規390628-0-YE-T   390B6636

MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N：390628–0-YE-T  390628-0-YE-T 390B6636

mks360/370

AMAT AE PARAMOUNTRF generator0190-441-5

GRANVILLE PHILLIPS 390 Series Micro-Ion gauge ATM Module:

PN:390628-0-YE-T,

PN:390506-3-YE-T,

P

深圳市天鉉真空技術有限公司供應半導體過濾器 半導體配件mks真空計流量計 等進口控制器

供應CTI低溫泵維修和銷售詳細介紹

CTI(Ulvac)低溫泵和氦氣壓縮機維修、銷售和技術咨詢8200/9600

CTI(Ulvac)低溫泵和氦氣壓縮機維修、銷售和技術咨詢。

OB8F:

OEM (CTI) Refurbished CTI Cryogenics Endura 8F Onboard Cryogenic Vacuum Pump.

. Utilized on AMAT Endura HP PVD Systems, OEM Refurbished to Like New Condition.

. Certificate of manufactures conbity attached.

. ConFlat Flange with Copper Gasket. In OEM Box

. CTI Part # 8116143G001   Serial # A06423485 AMAT Part # 0190-13371

8200: 8032559G001

美國CTI壓縮機維修9600: 8135900G001

MKS354005-YD-T

Granville-PHillips真空計    275529-EU

1.型號：275529-EU

2 MKS390411-0-YE-T真空計GRANVILLE-PHILLIPS

3.非實價，議價！英?？嫡婵沼婱KS354005-YD-T離子對撞壓力計MKS

INFICON BAG302 B-A 型熱陰極電離真空計(中高真空計)

INFICON 單臺 Bayard-Alpert 熱離子計 BAG302 的測量范圍從 1.3 × 10-9 到 6.7×10-2 mbar（1 × 10-9 到 5 × 10-2 Torr）。緊湊型一體化熱離子計BAG302提供易于更換的雙燈絲傳感器，內置OLED顯示屏，設定點繼電器和對數線性模擬輸出以及集成的RS485數字接口，可提高集成靈活性。這些功能與堅固的設計相結合，使BAG302成為一種經濟實惠且可重復的過程，可作為自己的壓力測量儀器的基礎，并提供高價值/低擁有成本的選擇。

INFICON 的 BAG302 熱離子計是下面列出的 MKS/GP 部件號的直接直接替代品。 這還包括較舊的傳統 MKS 354 微離子®模塊。

MKS系列	部件號	顯示	單位	輸出	法蘭型	燈絲	INFICON部件號
355 微離子®	355400-0-碼	不	托	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355400-0-葉-T	不	托	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
355 微離子®	355400-0-YK-T	不	托	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355400-0-YF-T	不	托	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
355 微離子®	355400-0-YG-T	不	托	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
355 微離子®	355400-0-碼	不	毫巴	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355400-0-葉-T	不	毫巴	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355400-0-YK-T	不	毫巴	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355400-0-YF-T	不	毫巴	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355400-0-YG-T	不	毫巴	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
355 微離子®	355400-0-碼	不	帕斯卡	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355400-0-葉-T	不	帕斯卡	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
355 微離子®	355400-0-YK-T	不	帕斯卡	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355400-0-YF-T	不	帕斯卡	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
355 微離子®	355400-0-YG-T	不	帕斯卡	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
355 微離子®	355600-0-碼	發光二極管	托	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355600-0-葉-T	發光二極管	托	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355600-0-YK-T	發光二極管	托	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355600-0-YF-T	發光二極管	托	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355600-0-YG-T	發光二極管	托	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
355 微離子®	355600-0-碼	發光二極管	毫巴	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355600-0-葉-T	發光二極管	毫巴	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
355 微離子®	355600-0-YK-T	發光二極管	毫巴	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355600-0-YF-T	發光二極管	毫巴	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
355 微離子®	355600-0-YG-T	發光二極管	毫巴	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
355 微離子®	355600-0-碼	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355600-0-葉-T	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
355 微離子®	355600-0-YK-T	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355600-0-YF-T	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
355 微離子®	355600-0-YG-T	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
355 微離子®	355410-0-碼	不	托	RS485	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
355 微離子®	355410-0-葉-T	不	托	RS485	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
355 微離子®	355410-0-YK-T	不	托	RS485	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
355 微離子®	355410-0-YF-T	不	托	RS485	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
355 微離子®	355410-0-YG-T	不	托	RS485	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354001-YD-T （傳統產品）	不	托	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354001-YE-T （傳統產品）	不	托	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354001-YK-T （傳統產品）	不	托	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354001-YF-T （傳統產品）	不	托	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354001-YG-T （傳統產品）	不	托	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354001-YD-M （傳統產品）	不	毫巴	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354001-YE-M （傳統產品）	不	毫巴	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354001-YK-M （傳統產品）	不	毫巴	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354001-YF-M （傳統產品）	不	毫巴	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354001-YG-M （傳統產品）	不	毫巴	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354001-YD-P （傳統產品）	不	帕斯卡	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354001-YE-P （傳統產品）	不	帕斯卡	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354001-YK-P （傳統產品）	不	帕斯卡	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354001-YF-P （傳統產品）	不	帕斯卡	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354001-YG-P （傳統產品）	不	帕斯卡	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354002-YD-T （傳統產品）	發光二極管	托	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354002-YE-T （傳統產品）	發光二極管	托	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354002-YK-T （傳統產品）	發光二極管	托	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354002-YF-T （傳統產品）	發光二極管	托	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354002-YG-T （傳統產品）	發光二極管	托	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354002-YD-M （傳統產品）	發光二極管	毫巴	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354002-YE-M （傳統產品）	發光二極管	毫巴	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354002-YK-M （傳統產品）	發光二極管	毫巴	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354002-YF-M （傳統產品）	發光二極管	毫巴	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354002-YG-M （傳統產品）	發光二極管	毫巴	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354002-YD-P （傳統產品）	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354002-YE-P （傳統產品）	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354002-YK-P （傳統產品）	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354002-YF-P （傳統產品）	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354002-YG-P （傳統產品）	發光二極管	帕斯卡	模擬	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354005-YD-T （傳統產品）	不	托	RS485	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354005-YE-T （傳統產品）	不	托	RS485	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354005-YK-T （傳統產品）	不	托	RS485	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354005-YF-T （傳統產品）	不	托	RS485	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354005-YG-T （傳統產品）	不	托	RS485	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354005-YD-M （傳統產品）	不	毫巴	RS485	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354005-YE-M （傳統產品）	不	毫巴	RS485	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354005-YK-M （傳統產品）	不	毫巴	RS485	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354005-YF-M （傳統產品）	不	毫巴	RS485	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354005-YG-M （傳統產品）	不	毫巴	RS485	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054
354 微離子®	354005-YD-P （傳統產品）	不	帕斯卡	RS485	DN 16 國際標準-KF	釕涂層銥	352-050
354 微離子®	354005-YE-P （傳統產品）	不	帕斯卡	RS485	DN 25 國際標準-KF	釕涂層銥	352-051
354 微離子®	354005-YK-P （傳統產品）	不	帕斯卡	RS485	DN 40 國際標準-KF	釕涂層銥	352-052
354 微離子®	354005-YF-P （傳統產品）	不	帕斯卡	RS485	DN 16 CF-R	釕涂層銥	352-053
354 微離子®	354005-YG-P （傳統產品）	不	帕斯卡	RS485	DN 40 CF-R	釕涂層銥	352-054

進口CWFG00403 光刻膠過濾器 WGGB06S02濾芯

ASML是 Advanced Semiconductor Material  Lithography的簡稱，中文名稱為阿斯麥（中國大陸）、艾司摩爾（中國臺灣）。艾司摩爾（ASML）為半導體設備供貨商，成立于1984年，是從荷商飛利浦分割出來獨立的半導體設備公司，總部設立于荷蘭的Veldhoven。

  ASML為半導體生產商提供光刻機及相關服務，TWINSCAN系列，應用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數半導體生產廠商，都向ASML采購TWINSCAN機型，例如英特爾（Inb），三星（Samsung），海力士（Hynix），臺積電（TSMC），中芯國際（SMIC）等。

  ASML的產品線分為PAS系列，AT系列，XT系列和NXT系列，其中PAS系列光源為高壓汞燈光源，現已停產，AT系列屬于老型號，多數已經停產。市場上主力機種是XT系列以及NXT系列，為ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的機型，分為干式和沉浸式兩種，而NXT系列則是現在主推的高端機型，全部為沉浸式。