產品詳情
產品特點
三軸直驅式結構
結構緊湊、亞微米級精度
XY軸氣浮結構
Z軸楔形平升結構
根據需求可定制
高柔線纜管理系統
應用領域
三軸精密運動臺中的XY軸為氣浮結構，Z軸為楔形平升結構，外觀結構緊湊，用于飛秒激光加工，基因測序，光學檢測和微光刻技術等行業。
結構特點
XY軸為開式氣浮，永磁預載結構，十字疊層具有體積小，精度高等特點，能有效降低減小阿貝誤差影響。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩定。Z軸直驅楔形平升結構，無絲桿、聯軸器等中間傳動裝置，提高了結構模態和整定性能，三軸結構緊湊，同時優化了系統剛度。
精度性能
XY軸氣浮運動臺的定位精度±50nm，雙向重復定位精度±15nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Roll Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±0.05μm，直線度±1.5μm。
線纜管理
使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。
定制化
XY軸可定制陶瓷材質氣浮導軌，重復定位精度±15nm。行程也可接受定制。
規格指標
|
型號Model |
單位Units |
QFL-25-25-5XX |
QFL-50-50-5XX |
|||||
|
軸系Axis |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程Travel |
mm |
25 |
25 |
5 |
50 |
50 |
5 |
|
|
補償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.02 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||||
|
單向重復定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±5 |
— |
±7.5 |
— |
||
|
高精版Plus |
±20 |
±30 |
±40 |
±30 |
||||
|
普通版Standard |
±30 |
±75 |
±75 |
±75 |
||||
|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
||||
|
普通版Standard |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±1.5 |
±0.25 |
±1.5 |
||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
— |
±0.1 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.25 |
— |
±0.35 |
— |
||||
|
偏擺(1) Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.25 |
±3 |
±0.35 |
±3 |
||
|
普通版Standard |
±0.5 |
±7.5 |
±1 |
±7.5 |
||||
|
俯仰、翻滾(1) Pitch Roll |
高精版Plus |
arc sec |
±0.25 |
±1.5 |
±0.35 |
±1.5 |
||
|
普通版Standard |
±0.5 |
±5 |
±1 |
±5 |
||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
50 |
50 |
50 |
50 |
|||
|
最大負載Max Load |
kg |
3 |
3 |
|||||
|
型號Model |
單位Units |
QFL-75-75-5XX |
QFL-100-100-5XX |
|||||
|
軸系Axis |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程Travel |
mm |
75 |
75 |
5 |
100 |
100 |
5 |
|
|
補償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
普通版Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||||
|
單向重復定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±7.5 |
— |
±7.5 |
— |
||
|
高精版Plus |
±40 |
±30 |
±40 |
±30 |
||||
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
||||
|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.01 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.25 |
±1.5 |
±0.25 |
±1.5 |
||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.35 |
— |
±0.4 |
— |
||||
|
偏擺(1) Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.35 |
±3 |
±0.4 |
±3 |
||
|
普通版Standard |
±1 |
±7.5 |
±1 |
±7.5 |
||||
|
俯仰、翻滾(1) Pitch Roll |
高精版Plus |
arc sec |
±0.35 |
±1.5 |
±0.4 |
±1.5 |
||
|
普通版Standard |
±1 |
±5 |
±1 |
±5 |
||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
100 |
50 |
200 |
50 |
|||
|
最大負載Max Load |
kg |
3 |
3 |
|||||
|
型號Model |
單位Units |
QFL-125-125-5XX |
QFL-150-150-5XX |
|||||
|
軸系Axis |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程Travel |
mm |
125 |
125 |
5 |
150 |
150 |
5 |
|
|
補償后定位精度 Accuracy |
超精版Ultra |
μm |
±0.05 |
— |
±0.05 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
普通版Standard |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||||
|
單向重復定位精度 Uni-Repeatability |
超精版Ultra |
nm |
±7.5 |
— |
±10 |
— |
||
|
高精版Plus |
±40 |
±30 |
±40 |
±30 |
||||
|
普通版Standard |
±75 |
±75 |
±75 |
±75 |
||||
|
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability |
超精版Ultra |
μm |
±0.01 |
— |
±0.015 |
— |
||
|
高精版Plus |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
||||
|
普通版Standard |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||||
|
直線度(1) Straightness |
高精版Plus |
μm |
±0.1 |
— |
±0.1 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.4 |
±1.5 |
±0.4 |
±1.5 |
||||
|
平面度(1) Flatness |
高精版Plus |
μm |
±0.15 |
— |
±0.15 |
— |
||
|
普通版Standard |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
||||
|
偏擺(1) Yaw |
高精版Plus |
arc sec |
±0.4 |
±3 |
±0.5 |
±3 |
||
|
普通版Standard |
±1.5 |
±7.5 |
±1.5 |
±7.5 |
||||
|
俯仰、翻滾(1) Pitch Roll |
高精版Plus |
arc sec |
±0.4 |
±1.5 |
±0.5 |
±1.5 |
||
|
普通版Standard |
±1.5 |
±5 |
±1.5 |
±5 |
||||
|
電子分辨率Electronic Resolution(2) |
nm |
≤ 1,≤5（選配） |
||||||
|
最大速度(空載) Max Speed (No Load)(3) |
mm/s |
200 |
50 |
200 |
50 |
|||
|
最大負載Max Load |
kg |
3 |
3 |
|||||
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
4. 無特殊項目要求，出廠默認為準。
