產品詳情
MSA-600-M顯微式激光測振儀Polytec
MSA-600-M顯微式激光測振儀Polytec
吳經理：132.4667.5433
MSA-600顯微式激光測振儀
型號： MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
表面形貌、動態(tài)運動分析及可視化是MEMS器件等微型結構的測試和研發(fā)的關鍵，這對于驗證有限元算法、確定串擾效應和測量表面形變是必不可少的。
MSA-600是集面外振動、面內振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。系統(tǒng)具有極高的靈活性和精度，以滿足顯微結構未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數據，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產品產量。
典型應用
· 微型結構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動
如：梳齒驅動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
· 微型結構的面內振動
如：梳齒驅動器、MEMS扭轉激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
· 微型結構的表面形貌
如：梳齒驅動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
產品亮點：
· 集多功能于一體的光學測量工作站
· 真正的實時測量，無需數據后處理
· 的亞pm位移分辨率
· 測量速度快，振型可視化顯示
· 操作界面直觀友好
· 全自動化測量，易于集成至商用探針臺上
【MSA-600系統(tǒng)配置】
基本配置： 面外振動頻率為2.5 MHz
選配件
頻率擴展： 面外振動頻率達25 MHz
差分測量： 面外振動可進行差分測量
面內運動分析： 面內振動測量
形貌測量： 表面形貌測量
【面外振動測量】
測量原理 激光多普勒原理
型號： MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
最大頻率： 2.5 MHz 25 MHz
檔位數量： 13 個速度檔位 13 個速度檔位
最大振動速度： 0.001 ? m/s … ? 10 m/s,與檔位有關 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關
速度分辨率均值1：0.005(μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,與檔位和頻率有關
位移分辨率 50 fm/√Hz 50 fm/√Hz
【面內振動測量】
測量原理 頻閃法
型號 MSA-600 帶面內振動測量模塊
帶寬 1 Hz … 2.5 MHz
max速度 > 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數有關）
鏡頭放大倍數2 1x … 100x
位移分辨率3 5 nm
時間分辨率 100 ns (頻閃曝光時間); 頻閃最大間隔時間 ±40 ns
系統(tǒng)輸出 位移量、波特圖、階躍響應、衰減曲線、軌跡圖等
【光學部分技術參數】
MSA-I-600 光學頭
激光波長 532 nm
激光安全等級 class 3R (可見光輸出小于5 mW)
照明光源波長 470 nm
照明光源安全等級 class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW)
攝像機 全場逐行掃描
攝像機分辨率 1732 x 1200 像素
攝像機幀速 56 fps
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動計、光學測振儀
激光多普勒測振儀、激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關于 Polytec已停產的型號（具體停產時間可能因產品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學距離傳感器）
【3. 其他光學系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
【典型型號示例】
IKA RCT basic：基礎數字款，帶加熱功能。
IKA RCT digital：進階版，可選安全溫度探頭（如ETS D5）實現外置溫度監(jiān)控。
IKA C MAG HS 7：高速型號（max2000 rpm），無加熱功能。
【一】混合
一、磁力攪拌器:
1、多功能混勻器： IKA MIXSTER SET 1 、IKA MIXSTER SET 2 、IKA MIXSTER SET 3 、IKA MIXSTER SET 4
2、帶加熱并控制介質溫度，還有高級功能：
IKA Plate(RCT digital)
RCT 5 digital
C-MAG HS 7 control
RET control-visc
RET control-visc white
3、帶加熱并控制介質溫度：
RCT basic
RCT basic ready-to-goSolution
RCT basic SynthesisSolution 250
RCT basic SynthesisSolution 500
RCT basic SynthesisSolution 1000
RCT basic ETS-D 5 Solution
RET basic
C-MAG HS 4 digital
C-MAG HS 7 digital
C-MAG HS 10 digital
4、帶加熱，介質溫度控制功能可選
RH basic
RH basic white
RH digital
RH digital white
C-MAG HS 7
C-MAG HS 10
5、工業(yè)磁力攪拌器
I-MAG Industry stirrer
Midi MR 1 digital
Maxi MR1 digital
6、帶加熱功能
C-MAG HS 4、RH basic 2、RT 5、RT 10、RT 15
7、無加熱功能
C-MAG MS 4、C-MAG MS 7、C-MAG MS 10、KMO 3 basic
8、無加熱，在小容器中攪拌
IKA myPlate、RO5、RO 10、RO 15
Mini MR standard、topolino
topolino mobil
color squid white
big squid white
lab disc white
IKA MIXSTER Add-on unit
MSA-600-M顯微式激光測振儀Polytec
吳經理：132.4667.5433
MSA-600顯微式激光測振儀
型號： MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
表面形貌、動態(tài)運動分析及可視化是MEMS器件等微型結構的測試和研發(fā)的關鍵，這對于驗證有限元算法、確定串擾效應和測量表面形變是必不可少的。
MSA-600是集面外振動、面內振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。系統(tǒng)具有極高的靈活性和精度，以滿足顯微結構未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應數據，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產品產量。
典型應用
· 微型結構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動
如：梳齒驅動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
· 微型結構的面內振動
如：梳齒驅動器、MEMS扭轉激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
· 微型結構的表面形貌
如：梳齒驅動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
產品亮點：
· 集多功能于一體的光學測量工作站
· 真正的實時測量，無需數據后處理
· 的亞pm位移分辨率
· 測量速度快，振型可視化顯示
· 操作界面直觀友好
· 全自動化測量，易于集成至商用探針臺上
【MSA-600系統(tǒng)配置】
基本配置： 面外振動頻率為2.5 MHz
選配件
頻率擴展： 面外振動頻率達25 MHz
差分測量： 面外振動可進行差分測量
面內運動分析： 面內振動測量
形貌測量： 表面形貌測量
【面外振動測量】
測量原理 激光多普勒原理
型號： MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
最大頻率： 2.5 MHz 25 MHz
檔位數量： 13 個速度檔位 13 個速度檔位
最大振動速度： 0.001 ? m/s … ? 10 m/s,與檔位有關 0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關
速度分辨率均值1：0.005(μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,與檔位和頻率有關
位移分辨率 50 fm/√Hz 50 fm/√Hz
【面內振動測量】
測量原理 頻閃法
型號 MSA-600 帶面內振動測量模塊
帶寬 1 Hz … 2.5 MHz
max速度 > 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數有關）
鏡頭放大倍數2 1x … 100x
位移分辨率3 5 nm
時間分辨率 100 ns (頻閃曝光時間); 頻閃最大間隔時間 ±40 ns
系統(tǒng)輸出 位移量、波特圖、階躍響應、衰減曲線、軌跡圖等
【光學部分技術參數】
MSA-I-600 光學頭
激光波長 532 nm
激光安全等級 class 3R (可見光輸出小于5 mW)
照明光源波長 470 nm
照明光源安全等級 class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW)
攝像機 全場逐行掃描
攝像機分辨率 1732 x 1200 像素
攝像機幀速 56 fps
德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統(tǒng)主要型號：
激光振動計、光學測振儀
激光多普勒測振儀、激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 ：MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關于 Polytec已停產的型號（具體停產時間可能因產品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠程振動傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學距離傳感器）
【3. 其他光學系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）
【典型型號示例】
IKA RCT basic：基礎數字款，帶加熱功能。
IKA RCT digital：進階版，可選安全溫度探頭（如ETS D5）實現外置溫度監(jiān)控。
IKA C MAG HS 7：高速型號（max2000 rpm），無加熱功能。
【一】混合
一、磁力攪拌器:
1、多功能混勻器： IKA MIXSTER SET 1 、IKA MIXSTER SET 2 、IKA MIXSTER SET 3 、IKA MIXSTER SET 4
2、帶加熱并控制介質溫度，還有高級功能：
IKA Plate(RCT digital)
RCT 5 digital
C-MAG HS 7 control
RET control-visc
RET control-visc white
3、帶加熱并控制介質溫度：
RCT basic
RCT basic ready-to-goSolution
RCT basic SynthesisSolution 250
RCT basic SynthesisSolution 500
RCT basic SynthesisSolution 1000
RCT basic ETS-D 5 Solution
RET basic
C-MAG HS 4 digital
C-MAG HS 7 digital
C-MAG HS 10 digital
4、帶加熱，介質溫度控制功能可選
RH basic
RH basic white
RH digital
RH digital white
C-MAG HS 7
C-MAG HS 10
5、工業(yè)磁力攪拌器
I-MAG Industry stirrer
Midi MR 1 digital
Maxi MR1 digital
6、帶加熱功能
C-MAG HS 4、RH basic 2、RT 5、RT 10、RT 15
7、無加熱功能
C-MAG MS 4、C-MAG MS 7、C-MAG MS 10、KMO 3 basic
8、無加熱，在小容器中攪拌
IKA myPlate、RO5、RO 10、RO 15
Mini MR standard、topolino
topolino mobil
color squid white
big squid white
lab disc white
IKA MIXSTER Add-on unit
