產品詳情
KOFLOC DF-550C數字質量流量控制器 半導體工藝氣體提取高純多晶硅質量流量控制器高性能數字MFC“DF-250C系列”的全金屬型號“DF-550C”發布！
金屬密封結構可以測量和控制半導體工藝氣體和其他腐蝕性氣體。
- 通過新型螺線管改善響應速度，在所有流量區域實現1秒以內高速響應
- 不銹鋼密封使其支持高活性氣體
- 10SCCM~10SLM序列
- 可通過2個通信端口進行菊花鏈連接
- 配備RS-485通訊功能標準
- 支持RoHS.CE規格
KOFLOC DF-550C數字質量流量控制器 半導體工藝氣體提取高純多晶硅質量流量控制器 DF-550C標準規范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
|---|---|---|
| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時關閉） | |
| 目標氣體（* 1） |
N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未記載的氣體換算成N2進行校正） |
|
| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~10 SLM | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | |
| 響應能力 | 總流量控制范圍 1sec內（wihtin±2％F.S.） | |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | |
| 再現性 | ±0.25%F.S. | |
| 工作壓差（* 4） | 50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa） | |
| 入口壓力 | 500kPa(G) | |
| 耐壓 | 980kPa(G) | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | |
| 溫度 | 使用溫度 | 5～50℃ |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | |
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許環境濕度 | 10～90%RH （無結露） | |
| 氣體接觸材料 | SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co | |
| 電氣連接 | D-sub 9針KFC Standard（依據SEMI standard），RJ-45模塊化插孔x 2 | |
| 流量設定信號 | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上） | |
| 數字通信 | 使用RS485旋轉開關設置地址：最多99臺（9600 bps） | |
| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA | |
| 接頭 | 相當于1/4 VCR | |
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | |
| 重量（* 9） | 約1100g | |
（* 1）應為干燥氣體，無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。
（* 2）流量校準單位SCCM和SLM是質量流量在0°C和1個大氣壓狀態下轉換為體積流量cc / min和L / min的值。
（* 3）對于流量范圍（滿量程）的精度。
（* 4）工作壓差可能因規格而異。
KOFLOC DF-550C數字質量流量控制器 半導體工藝氣體提取高純多晶硅質量流量控制器尺寸圖
接線連接
