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氧氣流量100SCCM氧氣質量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

數量(臺) 價格
100 7980.00元/臺
  • 最小起訂: 1臺
  • 發貨地址: 北京 朝陽區
  • 發布日期:2022-07-01
  • 訪問量:259
咨詢電話:133-6689-3229
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詳細參數
品牌ALICAT型號MC-100SCCM-D
原理質量流量計用途氣體流量計
工作壓力30適用介質氣體
工作溫度0-50測量范圍1-500
精度等級1測量精度1
安裝形式參考說明書流量范圍0-500
加工定制外形尺寸

產品詳情

氧氣流量100SCCM氧氣質量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

型號變體

  • 低壓損型號,最多60 psia(MCW系列
  • 高壓型號,160-320 psia(MCQ系列
  • 閥門內置(確保與SEMI端口長度一致)型號(MCE系列
  • 配備氣動截止閥的型號,適合真空應用(MCV系列
  • 腐蝕性氣體型號(MCS系列,見下文)

氧氣流量100SCCM氧氣質量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

閥門選項

您可以為您的MC系列氣體質量流量控制器定制以下一種閥門,以確保在預期過程條件下保持性能。

  • MC系列—選配小型比例控制閥,適用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥,適用于壓力較高的某些應用
  • MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥(對耐腐蝕系列產品不適用)
  • MCH系列—選配錘頭狀配置,將兩個小型閥門并排成對,用作一個閥門。
  • MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥,適用于50 slpm及以上流量

腐蝕性氣體(MCS系列)

MC系列氣體質量流量控制器中,還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置(即MCS系列)可供選擇。該配置中,我們將閥門升級為303不銹鋼閥門,傳感器升級為316L不銹鋼傳感器,彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程,需采用316L不銹鋼,在這種情況下,我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門(PCA型)和流量儀表主體部分升級為316L材質。

結構選項


  • 通訊協議(模擬通訊,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 顯示屏(單色或彩色,內置或面板安裝)
  • 工藝連接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭)
  • 彈性體材料(氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂)

氧氣流量100SCCM氧氣質量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

性能選項

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