產(chǎn)品詳情
特點(diǎn)：
· 符合T/CAMDI 009.1-2020 ，ISO 21501-4-9 ，T/CAMDI 009.1-2020， IEST-STD-CC1246D和21 CFR-Part11標(biāo)準(zhǔn)
· 對曝光機(jī) ，顯影機(jī) ，蝕刻、 黃光偏光板貼附機(jī)臺(tái)效果顯著
· 可快速測量設(shè)備表面 ，實(shí)時(shí)顯示顆粒數(shù)值 ，確認(rèn)機(jī)臺(tái)、零件表面潔凈度
· 能降低清洗維護(hù)成本 ，提高設(shè)備維護(hù)效率
· 可確認(rèn)產(chǎn)品制程前后的粒子分布情況 ，以確定污染源
· 配備多種異形探測頭 ，滿足客戶多樣化需求
· 自凈時(shí)間短 ，預(yù)防保護(hù)維護(hù)（PM） 周期少 ，效率高
特點(diǎn)：
Y09-310SPD型表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器通過氣流方式將附著在表面的顆粒重新進(jìn)行懸浮， 通過采 集懸浮顆粒，使用基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理， 獲取懸浮粒子的散射光信號(hào)， 進(jìn)行計(jì)數(shù)顯示 。
主要用于半導(dǎo)體晶圓表面、光學(xué)元件、集成電路板等生產(chǎn)環(huán)境檢測。為半導(dǎo)體制程工藝提供數(shù)據(jù) , 提高良品率與可靠性。
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主要技術(shù)參數(shù) |
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尺寸 |
280mmx330mmx210mm(長X寬X高) |
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質(zhì)量 |
9KG |
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輸入電壓 |
DC21V(可充式內(nèi)置鋰離子電池) |
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粒徑通道 |
0.1 , 0.2, 0.3，0.5，1.0 ，5.0（μm） 0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0(um) |
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采樣周期 |
3s或者6s |
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采樣流量 |
28.3L/min 1/2”探頭0.6CFM(17L/min) |
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電池續(xù)航時(shí)間 |
5小時(shí) |
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允許最大采樣濃度 |
10000顆/L(塵埃顆粒粒徑不小于0.1um)采樣空氣中不得含有酸堿等腐蝕性氣體 |
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顯示屏幕 |
7寸、Android工業(yè)電容觸摸屏 |
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數(shù)據(jù)存儲(chǔ) |
大于1000000組 |
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數(shù)據(jù)接口 |
wifi、以太網(wǎng)、USB、外置藍(lán)牙打印機(jī) |
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管理權(quán)限 |
四級權(quán)限功能 |
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光源壽命 |
半導(dǎo)體激光光源，壽命大于30000小時(shí) |
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自凈時(shí)間 |
≤10min |
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使用環(huán)境 |
溫度:0-40℃;濕度:5-95%RH(無冷凝) |
