產品詳情
表面粒子計數器 Y09-110SPD
特點：
· 符合T/CAMDI 009.1-2020 ，ISO 21501-4-9 ，T/CAMDI 009.1-2020， IEST-STD-CC1246D和21 CFR-Part11標準
· 對曝光機 ，顯影機 ，蝕刻、 黃光偏光板貼附機臺效果顯著
· 可快速測量設備表面 ，實時顯示顆粒數值 ，確認機臺、零件表面潔凈度
· 能降低清洗維護成本 ，提高設備維護效率
· 可確認產品制程前后的粒子分布情況 ，以確定污染源
· 配備多種異形探測頭 ，滿足客戶多樣化需求
· 自凈時間短 ，預防保護維護（PM） 周期少 ，效率高
特點：
Y09-310SPD型表面塵埃粒子計數器通過氣流方式將附著在表面的顆粒重新進行懸浮， 通過采 集懸浮顆粒，使用基于激光光學傳感器和光散射原理， 獲取懸浮粒子的散射光信號， 進行計數顯示 。
主要用于半導體晶圓表面、光學元件、集成電路板等生產環境檢測。為半導體制程工藝提供數據 , 提高良品率與可靠性。
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主要技術參數 |
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尺寸 |
280mmx330mmx210mm(長X寬X高) |
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質量 |
9KG |
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輸入電壓 |
DC21V(可充式內置鋰離子電池) |
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粒徑通道 |
0.1 , 0.2, 0.3，0.5，1.0 ，5.0（μm） 0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0(um) |
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采樣周期 |
3s或者6s |
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采樣流量 |
28.3L/min 1/2”探頭0.6CFM(17L/min) |
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電池續航時間 |
5小時 |
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允許最大采樣濃度 |
10000顆/L(塵埃顆粒粒徑不小于0.1um)采樣空氣中不得含有酸堿等腐蝕性氣體 |
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顯示屏幕 |
7寸、Android工業電容觸摸屏 |
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數據存儲 |
大于1000000組 |
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數據接口 |
wifi、以太網、USB、外置藍牙打印機 |
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管理權限 |
四級權限功能 |
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光源壽命 |
半導體激光光源，壽命大于30000小時 |
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自凈時間 |
≤10min |
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使用環境 |
溫度:0-40℃;濕度:5-95%RH(無冷凝) |
