產品詳情
邁浦特機械高低溫一體機是半導體產業中的關鍵基礎設施級溫控設備，其工作原理的核心在于為精密制造和測試設備提供一個溫度極度穩定、介質極度純凈的熱量交換平臺。它采用“二次換熱”的間接冷卻原理和多重精密控制策略。
設備內部有兩個獨立的循環回路：一次側（機組內部）回路：使用去離子水或乙二醇溶液作為工質，通過壓縮機制冷和電加熱器調節，在一個小型的、高度絕緣的儲液罐內形成一個基礎溫場。二次側（供給用戶設備）回路：使用極高純度的超純水（UPW），通過一個高效、低熱阻的板式換熱器與一次側回路進行熱量交換，從而被精確地控制在設定溫度。二次側的UPW通過循環泵，經由潔凈管路系統輸送給用戶設備（如光刻機或探針臺），吸收或提供熱量后回流。
實現±0.01℃甚至更高穩定性的關鍵在于：1. 高精度傳感與控制：采用鉑電阻溫度計（PRT）或熱敏電阻作為傳感器，配合24位AD采樣的多級PID控制器，對加熱和制冷功率進行毫瓦級的微調。2. 熱慣性設計與擾動隔離：儲液罐和管路采用高性能保溫材料，循環泵采用低發熱設計或外置，最大限度減少自身產熱對系統的干擾。3. 動態負載補償：控制器能根據用戶設備熱負載的變化（如探針臺測試時芯片發熱），提前預測并調整輸出功率。對于探針臺測試，一體機可將晶圓承載的Chuck（熱沉）快速、精確地控制在-55℃至+150℃的任意溫度點，并在芯片加電測試時，迅速帶走其功耗產生的熱量，保持Chuck溫度恒定，從而測得芯片在不同結溫下的準確電性參數。整個系統對介質純凈度要求極高，所有接觸UPW的部件均采用316L不銹鋼或高純聚合物，并經過嚴格的表面處理和清洗，以防止離子污染和顆粒物產生，確保半導體工藝的良率。
溫度范圍：5℃ ~ +90℃ (超純水型)
溫度穩定性：±0.1℃
熱交換量：5kW ~ 50kW
介質：/水/純水
潔凈度：顆粒物控制（如≤0.1μm），密閉防污染設計
壓力與流量控制：多級泵，壓力與流量可獨立精密控制
