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我國民企攻克光刻機核心部件,打破壟斷,成為世界第二

  這兩年間,美國不斷增加的“實體清單”名單,和愈發過火的半導體禁令,讓中國深刻地體會到了“中國芯”領域的巨大缺口。

  現在,以華為為首的中國科技企業,面臨著芯片斷供的危機。唯一的自救之法就只剩下自主制造芯片。

  客觀來說,中國在芯片設計領域做得很不錯。比如華為麒麟芯片,就和高通驍龍一起,居于智能手機芯片市場的第一梯隊。紫光展銳更是在今年克服了技術難題,研發出了全球首款6nm EUV工藝芯片——虎賁T7250。

  然而,就算中國擁有前沿芯片設計技術,也突破了制程工藝瓶頸,中國也很難制造生產芯片。原因就在于核心設備光刻機上。

  光刻機是芯片制造環節中最關鍵、最核心、技術含量最高的設備。全球范圍內,目前只有ASML(荷蘭阿斯麥公司)能夠生產高端的EUV光刻機。

  雖說ASML不是美國企業,不受實體清單的限制。但中芯國際于2018年初,斥資1.2億美元向ASML訂購的光刻機,至今仍未到貨。無論背后原因如何,從這一點就能看出,要想實現技術突破,只能夠依靠自己。

  而就在最近,中國在光刻機領域真的邁出了相當成功的一步。我國一家名為華卓精科的企業,近日宣布成功突破了雙工件臺納米級限制,成為了全世界第二家可以獨立生產制作雙工件臺的企業。

  據了解,一臺光刻機的重量高達180噸,其內部有10萬多個零部件、3000多條線路,技術難度非常高,內部結構極其復雜龐大。ASML平均每年僅能制造出20臺EUV光刻機,而其中90%的關鍵設備和零部件都要依靠進口。所以,在光刻機領域內,能掌握一個關鍵技術,就具有相當的意義。

  在光刻機所需的10萬+零部件中,最重要的三個分別是:極紫外光源、光學鏡頭和雙工件臺。雙工件臺直接決定著光刻硅片的質量。

  普通的單工件臺,每小時的產能僅80片左右,而雙工件臺的生產速度提升到了每小時270-300片。不僅如此,雙工件臺在高速運作的同時,還能保證精細至2nm的精準度。要知道一根頭發的直徑都有40-50微米,相當于40000-50000nm。所以,雙工件臺的技術難度是相當大的。

  華卓精科研發的雙工件臺,對我國光刻機行業,乃至于整個芯片行業都是非常有意義的。大家應該對“中國芯”充滿信心。

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