近日,由國儀量子(合肥)技術有限公司牽頭、安徽省計量科學研究院參與的“120kv 熱場發射電子槍”項目,獲批2022年度國家重點研發計劃“基礎科研條件與重大科學儀器設備研發”專項。
熱場發射電子槍具有束流較大、發射穩定、亮度高、能散小等優點,是透射電子顯微鏡、電子束光刻機、x射線衍射儀等高端電子束儀器的關鍵核心部件之一。本項目旨在解決上述重大儀器設備缺少國內配套核心關鍵部件的問題,并推進工程化與產業化。
據悉,國儀量子的核心技術是以量子精密測量為代表的先進測量技術,為全球范圍內企業、政府、研究機構提供以增強型量子傳感器為代表的核心關鍵器件、用于分析測試的科學儀器裝備、賦能行業應用的核心技術解決方案等優質的產品和服務。公司源于中國科學技術大學中國科學院微觀磁共振重點實驗室,實驗室在高端科學儀器、關鍵核心器件的研制領域深耕十余年。
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