2026年伊始，中國工業綠色發展領域迎來重磅政策紅利。1月14日，工業和信息化部等五部門聯合印發《關于開展零碳工廠建設工作的指導意見》，明確將電子電器列為重點培育行業，提出到2027年建設一批零碳工廠。與此同時，《廢棄電器電子產品處理污染控制技術規范》（HJ 527—2026）于3月1日正式實施，首次將服務器、智能消費設備等新型電子廢棄物納入管控范圍。電子信息領域設備更新的投資門檻也從500萬元大幅降至100萬元。

這一系列新規的密集落地，釋放出明確信號：電子制造與集成電路產業的綠色低碳轉型，已從“選答題”變為“必答題”。環保技術不再是產業末端的“清潔工”，而是深度融入生產工藝，成為保障產品質量、提升經濟效益、實現綠色轉型的核心生產力。

即將于2026年4月13-15日在上海新國際博覽中心舉辦的第27屆上海國際環博會上，一批深耕于電子制造領域的環保企業將集中展示他們的創新答案：如何用綠色科技，為高精尖的“中國芯”生產注入全新的低碳動能。

一、定義“芯片血液”的純凈極限：從超純水到精準監測

超純水被譽為電子工業的“血液”，在晶圓清洗、蝕刻、光刻掩膜板制造等環節，水質的好壞直接決定了芯片的良率和性能。面對高端制程對水中雜質近乎苛刻的要求，環保技術正在重新定義“純凈”的邊界。

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江蘇蘇凈集團有限公司（N2館 A20） 將帶來其光罩掩膜超純水處理系統，直擊高端掩膜生產依賴進口技術的痛點，實現了最高等級指標超純水的國產化應用。這一突破不僅關乎產業鏈安全，更與《零碳工廠建設指導意見》中“大幅提升能源利用效率”的要求相呼應——國產化替代本身即是降低全產業鏈碳足跡的重要路徑。

恩泰環保科技（常州）有限公司（N1館 I15） 推出的節能高脫鹽型反滲透膜，專為電子超純水制造設計，以高脫鹽率、低能耗及低TOC溶出的特性，從源頭上解決了超純水制備的高能耗難題。這與政策倡導的“能效標桿水平”要求高度契合。

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有了高品質的水，如何精準“看住”它？天健創新（北京）監測儀表股份有限公司（E3館 C02） 展示了其超純水高穩定性電導率測量解決方案。該方案針對超純水在極限測量中信號微弱的痛點，通過優化傳感器與算法，在接近18.2 MΩ·cm的極限區間實現了數量級的穩定性提升——這正是《指導意見》所強調的“健全碳排放核算管理體系，實現科學算碳”在微觀層面的技術落地。同樣，鄭州貫奧儀器儀表有限公司（E3館 D82） 的壁掛式水質在線分析儀，能同時監測pH、電導率、余氯等多參數，以小巧之軀靈活守護各工藝環節的水質安全。

值得一提的是，2026年電子信息領域設備更新政策已將電子測量儀器列為重點支持方向，頻譜分析儀、網絡分析儀、半導體參數測試儀等高端儀器享有優先支持。這意味著，水質監測儀器的升級改造將迎來政策紅利窗口。

二、廢水“重生”記：從達標排放到資源回用

電子制造廢水成分復雜，富含重金屬、酸堿污染物及有機溶劑。如何將其化害為利，實現資源循環，是產業綠色升級的“必答題”。《廢棄電器電子產品處理污染控制技術規范》（HJ 527—2026）特別強調，要“加強資源循環利用標準供給”，明確電路板、液晶顯示屏等關鍵產物的利用處置要求。

藍色起源環境科技（常州）有限公司（N2館 F26） 的電子制造廢水零排放處置工程給出了漂亮答案。其BOEX系列濃縮型MVR蒸發器可將廢水直接濃縮，最高提取99%的蒸餾水回用于生產，處理后的水質COD降低約20倍，真正實現了廢水“重生”與近零排放。面對PCB行業高無機磷的清洗廢水，濰坊英創環保設備有限公司（N2館 I90） 的派克漢尼汾噴淋清洗污水處理方案，通過精準加藥沉淀，實現穩定達標。

在過程精準控制方面，太倉市祥瑞環保科技有限公司（W1館 A47） 的電鍍生產線工藝槽液與綜合廢水全自動管理方案，通過高精度ORP控制儀聯動投加，精準破解破氰、還原反應中對氧化還原電位控制的極高要求，確保重金屬穩定達標。煒測環境科技（上海）有限公司（E2館 G26） 帶來的Aquamonitrix 硝氮亞硝氮同步在線分析儀，基于離子色譜原理，為廢水生化處理單元提供抗干擾的精準數據支撐。

三、潔凈生產：守護精密制造的“呼吸”與安全

芯片制造車間需要極致的潔凈環境。高效處理廢氣、保障空氣潔凈，是穩定生產與職業健康的雙重防線。《半導體制造業空氣污染管制及排放標準》對揮發性有機物（VOCs）的定義、集氣系統要求、排放削減率計算等作出了詳細規定。這意味著，廢氣處理設施的升級改造已成為合規剛需。

江蘇磐碩環保科技股份有限公司（E5館 D01） 推出的光刻工藝溶劑廢氣排出離心風機應用方案，不僅輸送潔凈空氣，更能有效促進光刻膠溶劑的揮發排出，其低振動與精準風量控制特性，完美適配光刻工藝的苛刻要求。這正回應了《零碳工廠建設指導意見》中“通用設備能效達到1級及以上水平”的要求。

面對蝕刻、電鍍產生的強酸霧與VOCs，恒馳環保設備（南京）有限公司（E5館 C22/D21） 提供從收集到處理的完整廢氣解決方案，采用FRP防腐風機與變頻控制，實現高效節能。瑞思泰環保科技（南通）有限公司（E6館 D01） 則專為蝕刻清洗工序設計了酸霧廢氣處理工程，宣稱凈化率超過99%，以專業設計應對嚴苛環保標準。

在吸附材料領域，萍鄉市捷龍環保科技有限公司（E6館 B57） 的蜂窩狀沸石分子篩，憑借凈化效率高、耐高溫不可燃、壽命長的優勢，正成為替代活性炭的理想選擇，為VOCs治理提供了更安全、經濟的方案。

值得一提的是，2026年電子信息領域設備更新政策對申報項目提出了明確要求：需達到國家能效標準2級以上，舊設備原值不低于新設備投資的10%。這意味著，企業進行廢氣處理設備升級改造，不僅能滿足環保合規要求，還可享受政策補貼紅利。

從“芯”出發，共筑綠色智造未來

從一滴水的極限純化，到一滴廢水的資源重生；從一口空氣的潔凈保障，到一塊廢棄電路板的規范處置，環保科技正以前所未有的深度融入電子制造與集成電路的每一道工序。它不僅是產業綠色底色的守護者，更是提升產品良率、降低運營成本、增強核心競爭力的價值創造者。

2026年4月13-15日，上海新國際博覽中心，第27屆上海國際環博會將匯聚這些綠色創新的力量，為您全景呈現環保技術如何賦能電子產業綠色低碳發展。我們誠摯邀請電子制造、半導體行業的同仁們親臨現場，與眾多環保先鋒一道，探尋“綠色芯”的無限可能，共同見證綠色科技如何為“中國智造”筑牢可持續發展的根基。

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