產品詳情
本設備設計由國內多年從事半導體生產的專家指導,采用國際先進的生產加工工藝,在超凈廠房組裝測試,有可靠的質量保障。設備由不銹鋼骨架,外包10mm厚瓷白PP板,潔凈美觀,耐腐蝕。電控面板置于機臺上方,設備的各項工藝參數以及動作可以通過各控制儀表的輸入輸出,可以通過操作盤按鈕直接設置和操作,界面中有程序過程控制、數據記錄、故障報警、安全保護等功能,各工作位過程完成提前提示報警,并有防蝕保護,具有嚴格的安全防護措置。主要用于6、8英寸硅片的清洗工藝。



