產品詳情
CXS系列旋轉沖洗甩干機是我所根據市場需求研制開發的系列高潔凈度沖洗甩干設備。該產品主要用于硅圓片、掩模板、太陽能電池等其他類似材料的高潔凈度沖洗甩干。具有單腔、雙腔兩種結構（也可按用戶要求配置）
性能特點
l 采用高性能可編程控制器實現邏輯控制。
l 采用彩色觸摸顯示屏監控，可存儲百種用戶工藝菜單。
l 結構采用凈化處理技術。
l 去離子水電阻率監控。
l 防靜電控制。
l 氮氣溫度控制。
l 腔體溫度控制。
l 轉軸氮氣密封。
l 可選無刷電機驅動。
l 旋轉載體定位。
l 故障診斷、顯示及報警。
l 可按用戶特殊要求配制。
主要技術參數
l 最大加工硅片尺寸： 8″（片架連接按用戶要求配制）
l 工作腔數量 ： 1～2個（可選）
l 去離子水耗量： 5L/min（單腔單片盒）
l 去離子水壓力 ： 0.23～0.28MPa（2.3~2.8kgf/cm²）
l 氮氣耗量 ： 125L/min（單腔單片盒）
l 氮氣壓力 ：0.25~0.3 MPa（2.5~3 kgf/cm²）
l 氮氣過濾精度 ： ≤0.005μm
l 氮氣溫度控制：80℃
l 旋轉腔轉速：300～2400r/min
l 電源 ：AC220V±AC22V
l 外型 ：765×460×1800（雙腔單片盒）
730×460×1300（單腔單片盒）
l 重量： value="420" unitname="kg" w:st="on">420kg（雙腔單片盒）
value="240" unitname="kg" w:st="on">240kg（單腔單片盒）
華林科納國內設有3個售后保障處，終生免費技術咨詢，24小時內現場協助
