產(chǎn)品詳情
便攜式三氟化氮檢測(cè)儀LBN301 高精度三氟化氮檢漏儀 詳細(xì)說(shuō)明：
便攜式三氟化氮檢測(cè)儀LBN301 高精度三氟化氮檢漏儀主要應(yīng)用于對(duì)三氟化氮?dú)怏w的泄漏進(jìn)行檢測(cè)。三氟化氮是一種工業(yè)特種氣體，其主要用作推進(jìn)劑(火箭)、氯化劑、電子氣、等離子蝕刻及用于摻雜激光、光導(dǎo)纖維。尤其是在目前發(fā)展較快的微電子領(lǐng)域，它可以作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氧化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和氧氣的混合氣體具有更高的蝕刻交率和選擇性，而且對(duì)表面無(wú)污染，在被蝕刻物表面不留任何殘留物質(zhì)，同時(shí)也是非常良好的清洗劑。
三氟化氮?dú)怏w的危害
三氟化氮是一種毒性物質(zhì)，但是它能強(qiáng)列刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長(zhǎng)期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。
具有強(qiáng)氧化性。與還原劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)，引起燃燒爆炸。與易燃物（如苯）和有機(jī)物（如糧、纖維素等）接觸會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。受高熱發(fā)生劇烈分解，甚至發(fā)生爆炸。在大氣中的最高容許濃度：10PPM(29mg/m3)。
便攜式三氟化氮檢測(cè)儀LBN301 高精度三氟化氮檢漏儀特點(diǎn)：
- 便攜式操作，攜帶方便；
- 自帶電源供電，單次最長(zhǎng)使用4.5小時(shí)；
- 高靈敏度，最小可到0.3PPM；
- 穩(wěn)定性好，零點(diǎn)長(zhǎng)期漂移小于1PPM；
- 大液晶顯示屏能名直觀顯示測(cè)量數(shù)據(jù)；
- 超限進(jìn)行聲光報(bào)警功能；
- 自動(dòng)保護(hù)功能，在儀器超過(guò)報(bào)警限時(shí)自動(dòng)停止檢測(cè)以保護(hù)傳感器。
- 中文友好界面，觸摸控制，易于操作。
主要技術(shù)指標(biāo)：
|
參數(shù) |
說(shuō)明 |
|
測(cè)量范圍 |
0-30PPM |
|
引用誤差： |
≤±5%FS |
|
最小檢測(cè)限： |
0.1PPM |
|
報(bào)警值： |
在0-30PPM內(nèi)可任意設(shè)定 |
|
分辨率 |
0.01PPM |
|
報(bào)警方式： |
聲光報(bào)警 |
|
報(bào)警誤差： |
報(bào)警誤差不應(yīng)超過(guò)設(shè)定值的10% |
|
響應(yīng)時(shí)間： |
≤10s |
使用條件：
工作環(huán)境:-20~+50度
濕度：大于20%RH 小于 95%RH（無(wú)凝露）
供電：自帶充電鋰電池供電，配專(zhuān)用充電器充電。
