卓銳微推出ACT2100型MEMS加速度傳感器
日前，北京卓銳微技術有限公司推出ACT2100系列高精度MEMS加速度傳感器。該系列加速度傳感器采用先進的SOI體硅工藝制造，并基于卓銳微技術第二代Cery2000高精度MEMS加速度傳感器專用接口芯片進行信號調理。其應用領域包括地震勘探和鉆探、慣性導航和制導、振動測量、傾斜測量等工業領域。在地震勘探領域中，通過使用加速度傳感器來替換傳統的速度傳感器，可以在低頻和高頻獲得更好的信噪比，從而有效提升成像質量。
由于采用創新的設計理念以及MEMS-ASIC一體化設計方法，卓銳微技術的ACT2100-3加速度傳感器在提供±3g量程的同時，噪聲本底小于2ug/sqrt（Hz），工作帶寬大于900Hz。其ACT2100-50系列更是擁有高達114dB的信噪比（100Hz帶寬）和3KHz的工作帶寬。目前卓銳微技術正在完善ACT2100系列的其它產品線，預計在2009年第四季度覆蓋包括3g/10g/50g/100g/400g等不同量程范圍。
ACT2100系列采用5V標準電壓供電，典型功耗為10mA，其差分輸出范圍為±4V，可驅動長達150米電纜。LCC48的封裝使得ACT2100系列在承受機械沖擊以及環境溫度變化時保證良好的真空密封性。小型化封裝使得ACT2100可在空間/體積/重量受限的應用中實現高精度的加速度信號檢測。
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