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<摘要>

　　羅克韋爾自動化的控制系統使得半導體的制作發生了革命性的改變——使得晶片加工吞吐量增加了25%，使得晶片生長時間從一年多縮短到六個星期，縮減了85%，使得整個系統更加靈活、更加可靠。






背景資料

　　在半導體行業，自動化系統被用于硅晶片到芯片的加工處理。在這個過程中，為了蝕刻硅晶片表面，會用到快速熱處理、快速熱退火和快速熱化學蒸汽蒸鍍（RTCVD）。

　　被稱為晶簇工具的整個系統，包括多個過程，構成了擁有三個過程模塊和一個冷卻腔的自動化港。過程模塊包括了先進的半導體晶片加工所需要的各種自動化設備。

　　習慣上，半導體行業的OEM利用他們自己所擁有的硬件和軟件構件系統，利用C++或其他代碼程序進行控制。晶簇工具的開發商發現，采用復雜的編程語言工作增加了開發時間和培訓需要，而計算機也常常崩潰且難以調整。此外，半導體行業需要一種標準借口，在系統開發中使用多個RS232通信口。這些復雜的需求使得快速而方便地開發系統面臨著一定的挑戰。

問題的提出

　　半導體晶簇工具的一個特殊開發商——也是IBM、Intel、摩托羅拉（Motorola）、東芝（Toshiba）等公司的供應商——覺得，控制晶片加工系統的傳統方法有著很大的改進空間，從而引發了超越傳統的半導體技術的新技術的研究。

　　公司需要這樣一個解決方案，它能夠對生產過程進行管理控制，能夠對每個不同模塊的特殊功能進行控制，并且，每塊模塊都可以進行三軸運動控制。除此之外，它需要一個組態方便、可靠的接口，以便操作人員輸入和反饋數據。

　　為了不浪費高成本的凈化空間，整個系統必須緊湊、易于安裝和組態。從最初的加工系統的開發，到整個系統的構件，絕大部分晶片加工公司需要12至14個月——這部分時間必須縮減。

解決方案

　　根據一個管理人員以前的經驗，公司找到了羅克韋爾自動化，探討了羅克韋爾自動化的自動化和控制技術用于半導體行業的可行性。羅克韋爾自動化提供了最新的產品，公司也意識到，Allen-Bradley的可編程序控制器能夠提供開發和運行控制系統所需要的速度、靈活性、可靠性，且使用方便。