產(chǎn)品詳情
海德漢專利的光刻鍍鉻技術(shù)，最小信號周期0.128微米；
最高精度等級0.5微米/米；
基體可選玻璃、玻璃陶瓷及鋼質(zhì)，通過基體選擇熱膨脹系數(shù)，玻璃陶瓷熱膨脹系數(shù)接近零自由膨脹、拉伸、背貼等多種安裝方式，適用于不同應(yīng)用場合；
海德漢光柵采用成像掃描與干涉掃描原理，后者用于8～0.128微米柵距，信號誤差小于1%，消除高頻諧波，進(jìn)行高倍細(xì)分，最高分辨率1納米，可用于高速場合；
海德漢光柵采用大面積掃描場單場掃描方式，大大降低對油污的敏感性，超級堅(jiān)硬的光柵尺因高刻線度，灰塵、污物或水滴難以留在其表面，使得光柵尺有著很高的抗污染能力；
海德漢與超出同類產(chǎn)品的優(yōu)勢：海德漢關(guān)于干涉掃描、創(chuàng)新的掃描掩膜技術(shù)及成像掃描原理的應(yīng)用，使得光柵的安裝有較大的安裝公差；
海德漢采用增量信號1Vpp或TTL輸出形式，最大電纜長度30米；
海德漢光柵的工作環(huán)境要求：標(biāo)準(zhǔn)工作溫度（鑒定溫度）20℃，可工作溫度0～50℃，儲存溫度-20～70℃；
海德漢光柵尺的應(yīng)用：適用于半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備、PCB電路板組裝機(jī)、超精密機(jī)床、高精度機(jī)床、測量機(jī)和比較儀、測量顯微鏡和其他精密測量設(shè)備、直接驅(qū)動等
最高精度等級0.5微米/米；
基體可選玻璃、玻璃陶瓷及鋼質(zhì)，通過基體選擇熱膨脹系數(shù)，玻璃陶瓷熱膨脹系數(shù)接近零自由膨脹、拉伸、背貼等多種安裝方式，適用于不同應(yīng)用場合；
海德漢光柵采用成像掃描與干涉掃描原理，后者用于8～0.128微米柵距，信號誤差小于1%，消除高頻諧波，進(jìn)行高倍細(xì)分，最高分辨率1納米，可用于高速場合；
海德漢光柵采用大面積掃描場單場掃描方式，大大降低對油污的敏感性，超級堅(jiān)硬的光柵尺因高刻線度，灰塵、污物或水滴難以留在其表面，使得光柵尺有著很高的抗污染能力；
海德漢與超出同類產(chǎn)品的優(yōu)勢：海德漢關(guān)于干涉掃描、創(chuàng)新的掃描掩膜技術(shù)及成像掃描原理的應(yīng)用，使得光柵的安裝有較大的安裝公差；
海德漢采用增量信號1Vpp或TTL輸出形式，最大電纜長度30米；
海德漢光柵的工作環(huán)境要求：標(biāo)準(zhǔn)工作溫度（鑒定溫度）20℃，可工作溫度0～50℃，儲存溫度-20～70℃；
海德漢光柵尺的應(yīng)用：適用于半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備、PCB電路板組裝機(jī)、超精密機(jī)床、高精度機(jī)床、測量機(jī)和比較儀、測量顯微鏡和其他精密測量設(shè)備、直接驅(qū)動等
