產(chǎn)品詳情
SLA5850流量計是美國BROOKS流量計公司主要產(chǎn)品,具有優(yōu)越的性能.BROOKS SLA5850質(zhì)量流量計安裝方便,能很好的同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容,在不同的工作環(huán)境下均有較高的精度.
美國BROOKS流量質(zhì)量控制器技術(shù)參數(shù):
數(shù)字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
流量范圍:0.03-30slpm
最大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
精度:±1%FS
信號輸出:RS-232/RS-485接口,4-20mA輸出控制,TTL報警
SLA5850流量計內(nèi)置微處理器，智能化、數(shù)字化。軟件組態(tài)，數(shù)字通訊，支持微軟Windows動態(tài)數(shù)據(jù)交換。
流量范圍：0-30L/MIN；
精度：1%FS；
最大壓力：1500psi；
最高溫度：65℃；
輸入/輸出：0-5V；
電源：+/-15V
的質(zhì)量流量計－MFC,BROOKS。專業(yè)用于制造
單晶硅爐和多晶硅爐設(shè)備上面使用，適用的氣體
有氮氣、氬氣、氫氣、氧氣等純凈氣體。
氣體的最大量程：50－120SLM,數(shù)字和模擬兼容
電氣接口：D型15針 管道接口：3/8"VCR
交貨周期：4周左右，長期訂貨，周期還會短。
可以完全替代和兼容MKS的相關(guān)流量計。
