產(chǎn)品詳情
※產(chǎn)品描述：
CNT公司CVD設(shè)備主要由全真空專用不銹鋼腔體，分子泵高真空系統(tǒng)，電源，生長機體載體及溫控系統(tǒng)，獨立排氣和生長壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，冷卻循環(huán)水輔助設(shè)備等組成。整機結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設(shè)備控制系統(tǒng)采用邏輯按鈕手動控制與工控機自控控制可選。實現(xiàn)真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設(shè)備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si：H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導(dǎo)體及金屬膜等。
※技術(shù)指標(biāo)：
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參 數(shù) 名 稱 |
單 位 |
配置 |
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沉積類型 |
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TiC、SiC、SiO2、α-Si等 |
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電 源 |
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射頻電源，帶正向功率和反射功率計指示，帶匹配器 |
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加熱系統(tǒng) |
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平板式雙反應(yīng)室系統(tǒng)，帶加溫和勻氣系統(tǒng) |
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工 作 溫 度 |
℃ |
100~1100℃ |
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基片臺尺寸 |
(φ×H)mm |
1英寸、二英寸、三英寸、四英寸、6英寸、8英寸 |
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基片臺轉(zhuǎn)速 |
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轉(zhuǎn)速0-20RPM |
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控 溫 精 度 |
℃ |
±1 |
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極限真空 |
pa |
8.0×10-5 |
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密封系統(tǒng) |
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磁流體密封 |
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水冷、氣路系統(tǒng) |
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冷卻水循環(huán)機、無噪聲氣泵 |
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報警及保護(hù) |
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對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報警及相應(yīng)保護(hù)措施 |
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真空系統(tǒng)
（選 配） |
真空系列 |
單級機械泵、擴散泵機組、分子泵 |
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工作腔體 |
不銹鋼 | |
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氣氛系統(tǒng) |
浮子流量計、進(jìn)口、國產(chǎn)質(zhì)量流量計 | |
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記錄裝置 |
進(jìn)口、國產(chǎn)無紙記錄儀 | |
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備注：西尼特可根據(jù)閣下要求提供各種非標(biāo)產(chǎn)品的設(shè)計制造，歡迎來函、來電咨詢！
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