產品詳情
IPV，3PV，APC類型
·一步到位的精準動作。
·簡單，構成組件少，擁有緊湊型節省空間的設計。
·標準規格擁有50萬次動作的設計壽命，高耐久，無需檢修的設計。
·閥體的密封件一律采用O型圈。為降低成本做出貢獻。
·閥體的拆解只需松開1根螺栓即可。
APC控制盒
·搭載可以計算出腔室容積的LEARN功能。
·可實現高速的正確壓力控制，位置控制。
·可同時連接2臺壓力傳感器。
·排氣系列門閥：真空泵－腔室之間的門閥，也有作為控制壓力的閥門使用。
·搬運系列門閥：作為各作業（晶片或玻璃基板etc）的出入口，用于空氣－腔室之間的隔斷。
半導體?液晶屏制造裝置
半導體?液晶屏制造裝置
用真空門閥的應用案例介紹
用真空門閥的應用案例介紹
Exhaust System Gate Valve
（Penduroll Valve）
·和APCPenduroll閥配合可以實現電導系數到0的控制。
