產品詳情
熱絲化學氣相沉積設備 HFCVD
我司研發設計制造了熱絲CVD金剛石設備，分為實驗型設備和生產型設備兩類。
設備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜的研發和生產。可用于力學級、熱學級、光學級、聲學級的金剛石產品的研發生產。可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片，用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。
可用于生產制造防腐耐磨硬質涂層；環保領域污水處理用的金剛石產品。
可用于平面工件的金剛石薄膜制備，也可用于刀具表面或其它不規則表面的金剛石硬質涂層制備。
可用于太陽能薄膜電池的研發與生產。
熱絲化學氣相沉積設備 HFCVD 工件尺寸
圓形平面工件的尺寸：最大φ550mm。
矩形工件尺寸的寬度550mm。
矩形工件尺寸的長度可根據鍍膜室的長度確定（如：工件長度1200mm）。
配置水冷樣品臺。可單面鍍膜也可雙面鍍膜。
金剛石薄膜生產線
熱絲電源功率
可達300KW，1KW～300KW可調（可根據用戶工藝需求配置功率范圍）
設備安全性
- 電力系統的檢測與保護
- 設置真空檢測與報警保護功能
- 冷卻循環水系統壓力檢測和流量檢測與報警保護
- 設置水壓檢測與報警保護裝置
- 設置水流檢測報警裝置
熱絲CVD金剛石設備
設備構成
真空室構成
雙層水冷結構，立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形，前后開門。
真空尺寸：根據工件尺寸和數量確定。
熱絲
熱絲材料：鉭絲、或鎢絲
熱絲溫度：1800℃～2500℃ 可調
熱絲不塌腰（解決了熱絲長時間加熱塌腰問題）。
樣品臺
可水冷、可加偏壓、可旋轉、可升降，由調速電機控制，可實現自動升降，（熱絲與襯底間距在5～100mm范圍內可調），要求升降平穩,上下波動不大于0.1mm。
工作氣路（CVD）
工作氣路根據用戶工藝要求配置：
下面氣體配置是某一用戶的配置案例。
H2（5000sccm，濃度100%）
CH4（200sccm，濃度100%）
B2H6（50sccm，H2濃度99%）
Ar（1000sccm，濃度100%）
真空獲得及測量系統
控制系統及軟件
關于我們
鵬城微納技術（沈陽）有限公司，由哈爾濱工業大學（深圳）與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。公司立足于技術前沿、市場前沿和產業前沿的交叉點，尋求創新yin*ling與可持續發展，解決產業的痛點和國產化難題，爭取產業鏈的自主可控。
鵬城微納技術（沈陽）有限公司是鵬城半導體技術（深圳）有限公司全資子公司，是半導體和泛半導體工藝和裝備的設計中心和生產制造基地。
公司核心業務是微納技術與gao*duan精密制造，具體應用領域包括半導體和泛半導體材料、工藝、裝備的研發設計、生產制造、工藝技術服務及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發和打樣，可為生產企業提供生產型設備，可為科學研究提供科研設備。
公司人才團隊知識結構完整，有工程師哈工大教授和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊，還有來自工業界的高級裝備設計師團隊，他們具有30多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產制造的經驗。
公司依托于哈爾濱工業大學（深圳），具備xian*jin的半導體研發設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體和泛半導體裝備的研發、生產、調試以及器件的中試、生產、銷售的能力。
公司團隊技術儲備及創新能力
1998~2002
-設計了中試型的全自動化監控的MOCVD，用于外延硅基GaN
-設計制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機
2005
-設計制造了中國di*yi臺wan*quan自主知識產權的MBE(分子束外延設備)，用于外延光電半導體材料
2007
-設計超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長
-設計制造了光學級金剛石生長設備（采用熱激發技術和CVD技術）
2015
-設計制造了金剛石涂層制備設備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜
2017
-優化Rheed設計，開始生產型MBE設計
-開始研發PSD方法外延GaN的工藝和裝備
2019
-設計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產設備
2021
-鵬城半導體技術（深圳）有限公司成立
2022
-子公司鵬城微納成立；
-熱絲CVD設備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機、分子束外延與磁控濺射聯用設備多套出貨
-獲得ISO9001質量管理體系證書
2023
-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術攻關；
-科技型中小企業-入庫編號202344030500018573；
-創新型中小企業；
-獲50+項知識產權zhuan*li；
-企業信用評價3A*信用企業；/ISO三體系認證；
-子公司晶源半導體成立
2024~2026
-與jun*gong和和核工業客戶合作取得突破（核反應堆材料的涂層工藝及裝備、X 光感受板及光電器件的薄膜生長）
-鵬城微納子公司擴產
-TGV/TSV/TMV
-微光探測、醫療影像、復合硬質涂層
-gao*xin*ji*shu企業
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