產品詳情
深圳市天鉉真空技術有限公司專業維修銷售真空泵，分子泵，半導體激光器，流量計，真空計，AMAT半導體配件
等外延設備翻新維修
優勢
? 基于PTS(Pressure，Temperature，Space)的壓力傳感技術
? 基于AI的壓力控制技術
? 全金屬耐腐蝕技術
? 高準確度及高可靠性
技術參數
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型號 |
PC100 |
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壓力類型 |
絕壓 |
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控制壓力的滿量程 |
1000Torr、1200mbar |
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耐壓 |
3MPa |
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閥口滿量程流量 |
2、3、5SLM |
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控制方式 |
上游 |
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溫度系數 |
Zero：±0.02% of F.S./℃；Span：±0.04% of Reading/℃ |
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壓力分辨率 |
0.1 Torr |
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壓力控制精度 |
±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
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響應時間 |
< 1.0 S |
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工作溫度范圍 |
10 ℃ ～ 50 ℃ |
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機械接口 |
雙卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 陽接頭 |
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閥類型 |
常閉 |
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外漏 |
< 1 x 10-10(scc/sec He) |
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內漏 |
< 1.0% of 閥口滿量程流量 (閥關閉時，進氣端為25 psig，出氣端為大氣) |
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供電電源 |
+15 ～ +24 VDC(< 4 watts) |
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電氣接口 |
DB-9針 |
原裝進口正品，拍前請聯系店主，13480966143
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