產(chǎn)品詳情
Hitachi S-3400N
一、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的特點
1.?S-3400N具有強大的自動功能，包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2.?在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3.?新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4.?S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品zui高可達(dá)80mm。
5.?分析樣品倉可以同時安裝EDX?，?WDX?及EBSD。
6.?真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈，高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的技術(shù)指標(biāo)
|
項目 |
描述 |
|
|
SE分辨率 |
3.0nm (30kV)，高真空模式 |
|
|
BSE分辨率 |
4.0nm (30kV)，低真空模式 |
|
|
放大倍率 |
x5 ~ x300,000 |
|
|
加速電壓 |
0.3 ~ 30 kV |
|
|
低真空范圍 |
6 ~ 270 Pa |
|
|
zui大樣品尺寸 |
直徑200mm |
|
|
樣品臺 |
I型 |
II型 |
|
X |
0 ~ 80mm |
0 ~ 100mm |
|
Y |
0 ~ 40mm |
0 ~ 50mm |
|
Z |
5 ~ 35mm |
5 ~ 65mm |
|
R |
360o |
360o |
|
T |
-20o~ +90o |
-20o ~ +90o |
|
zui大樣品高度 |
35mm (WD=10mm) |
80mm (WD=10mm) |
|
驅(qū)動類型 |
手動 |
五軸馬達(dá)驅(qū)動 |
|
燈絲 |
預(yù)對中鎢燈絲 |
|
|
物鏡光欄 |
可移動式4孔物鏡光欄 |
|
|
槍偏壓 |
固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 |
|
|
檢測器 |
二次電子檢測器 |
|
|
分析位置 |
WD=10mm, TOA=35o |
|
|
控制 |
鼠標(biāo)、鍵盤，手動旋鈕 |
|
|
自動調(diào)校 |
自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸、自動聚焦消像散、自動亮度對比度 |
|
