型號(hào)

VR-3200

類(lèi)型

量測(cè)頭

適用控制器

VR-3000K

觀察量測(cè)範(fàn)圍

大視野模式

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 12x

水平(H)

24mm

垂直(V)

18mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 25x

水平(H)

12mm

垂直(V)

9mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 38x

水平(H)

8mm

垂直(V)

6mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 50x

水平(H)

垂直(V)

4.5mm

高倍率模式

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 40x

水平(H)

7.6mm

垂直(V)

5.7mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 80x

水平(H)

3.8mm

垂直(V)

2.9mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 120x

水平(H)

2.5mm

垂直(V)

1.9mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 160x

水平(H)

垂直(V)

1.4mm

鏡頭

1 至 4 倍

可量測(cè)高度

大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)^*1

顯示解析度

0.1 μm^*2

重覆精度 (σ)

高度量測(cè)

0.5 μm^*3

寬度量測(cè)

大視野模式：1 μm、高倍率模式：0.5 μm^*3

量測(cè)精度

高度量測(cè)

±3 ?μm^*3

寬度量測(cè)

大視野模式：±5 μm、高倍率模式：±2 μm^*3

影像連接功能

全自動(dòng)(XY 自動(dòng)控制+ 自動(dòng)對(duì)焦)量測(cè)^*4
自動(dòng)調(diào)整、自動(dòng)範(fàn)本分析^*4

載物臺(tái)

XY 載物臺(tái)移動(dòng)量

184 × 88 mm(電動(dòng))

Z 載物臺(tái)移動(dòng)量

90 mm(電動(dòng))

旋轉(zhuǎn)角

±180°（試料旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)）

傾斜角

±30° 以上

動(dòng)作距離

75 mm

影像擷取元件

1 型400 萬(wàn)畫(huà)素黑白CMOS

投光鏡頭

雙重遠(yuǎn)心鏡頭 ×2

受光鏡頭

雙重遠(yuǎn)心鏡頭

照明系統(tǒng)

觀察用光源

環(huán)形 LED 照明(紅、綠、藍(lán))

量測(cè)用光源

白光 LED

影像尺寸

1024×768 畫(huà)素、2048×1536 畫(huà)素

資料處理部份

KEYENCE 專(zhuān)用PC(OS 為 Windows7)^*5

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

耗電量

150 VA

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

+15 至 +30 °C

相對(duì)濕度

35 至 80 % RH (無(wú)凝結(jié))

重量

28.0 kg

^*1 以焦點(diǎn)位置為中心，低倍率端 ±5 mm，高倍率端側(cè) ±0.5 mm 的範(fàn)圍 
^*2 量測(cè)高度時(shí)的解析度
^*3 使用 KEYENCE 規(guī)定的基準(zhǔn)規(guī)，以 KEYENCE 規(guī)定的量測(cè)模式進(jìn)行量測(cè)時(shí)的數(shù)值(環(huán)境溫度 23 ±1°C)
^*4 需要影像連接模組(VR-H2J)
^*5 Windows7 Professional 以及 Ultimate