產品詳情
產品簡介：本設備主要針對實驗石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻
爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求，關鍵電氣元件采用優質的進口產品，做到高性能、免維護，提高了設備質量的可靠性。
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zui高溫度 |
1200℃ |
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使用溫度 |
≤1100℃ |
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爐膛有效尺寸 |
Φ50/φ100mm（爐管直徑可根據實際需要定制。） |
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7/10寸工控電腦，內置PLC控制程序。 |
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加熱長度 |
230mm/440mm |
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恒溫長度 |
100mm/200mm |
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加熱原件 |
電阻絲 |
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供電電源 |
單相，220V，50Hz |
2、PE射頻電源
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功率輸出范圍 |
0W~150/500W |
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zui大反射功率 |
100W |
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射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率穩定度 |
≤5W |
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
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整機效率 |
>=70% |
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功率因素 |
>=90% |
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冷卻方式 |
強制風冷 |
3、三路質子流量控制系統
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連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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標準量程（N2) |
50sccm，100sccm、500sccm （可根據用戶要求定制） |
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準確度 |
±1.5%F.S |
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線性 |
±1%F.S |
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重復精度 |
±0.2%F.S |
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響應時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
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工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
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zui大壓力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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顯示 |
4位數字顯示 |
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工作環境溫度 |
5~45高純氣體 |
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壓力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止閥 |
Φ6 |
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內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
4、低真空機組
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空氣相對濕度 |
≤85% |
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工作環境 |
5℃～40℃ |
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工作電電壓 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽氣速率 |
10m3/h |
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極限真空 |
5X10-1Pa |
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工作壓力范圍 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
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耐壓值 |
0.03MPa |
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容油量 |
1.1L |
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進氣口口徑 |
KF25 |
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排氣口口徑 |
KF25 |
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噪音 |
50dB |
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連接方式 |
采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
