產品詳情
臺灣菘啟工業有限公司設計和制造溫度測量解決方案，保證為您提供靈敏度、快速響應和一致的精度。臺灣菘啟工業有限工公司致力于以世界的技術服務及時提供其創新的wafer晶圓解決方案。
TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）
溫度范圍：
低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）
高度：-150 to 1,200°C（焊接設計）
熱電偶選型：
● Type K (精度級別±1.1°C or
0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C
● Type N (精度級別±1.1°C or 0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°C
● Type E (精度級別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C
● Type T (精度級別±0.5°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°C
● Type R/S (精度級別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C
晶圓材質：
硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底。可按客戶要求定制基板、形狀和尺寸。
主要規格：
4寸，6寸，8寸，12寸
擴展線：可絕緣層材質，接頭類型。密封的聚酰亞胺扁平電纜，可在大氣中打到10-7托。長度有客戶
傳感器引線：長達40英尺–可定制,
被覆材質：石英 陶瓷纖維 TEF
絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰亞胺
線規：20 AWG – 40 AWG
