產(chǎn)品詳情
高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)（PVD鍍膜設(shè)備）采用電阻熱蒸發(fā)技術(shù)，它是在高真空條件下，通過加熱材料的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜。可用于生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)，可根據(jù)用戶要求專門訂制；可用于材料的物理和化學(xué)研究；可用于制備金屬導(dǎo)電電極；可用于有機(jī)材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)、OLED實(shí)驗(yàn)研究及有機(jī)太陽能薄膜電池研究實(shí)驗(yàn)等。
設(shè)備構(gòu)成
- 單鍍膜室
- 單鍍膜室＋進(jìn)樣室
- 單鍍膜室＋手套箱（可將鍍膜室放在手套箱內(nèi)）
- 單鍍膜室＋進(jìn)樣室＋手套箱（可將鍍膜室放在手套箱內(nèi)）
- 多鍍膜室＋樣品傳遞室＋手套箱（組成團(tuán)簇式結(jié)構(gòu)，樣品傳遞采用真空機(jī)械手）
設(shè)備組成
電阻熱蒸發(fā)源組件、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測量系統(tǒng)、分子泵（或冷泵）真空機(jī)組、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、手套箱連接部件、樣品傳遞機(jī)構(gòu)，膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成。
熱蒸發(fā)源類型和數(shù)量，可根據(jù)用戶需要進(jìn)行配置。
可選件：膜厚監(jiān)控儀，恒溫制冷水箱。
熱蒸發(fā)源種類及配置
電阻熱蒸發(fā)源組件：數(shù)量：1～12套（可根據(jù)用戶要求配裝）；
電阻熱蒸發(fā)源種類：鉭（鎢或鉬）金屬舟熱蒸發(fā)源組件、石英舟熱蒸發(fā)源組件、鎢極或鎢藍(lán)熱蒸發(fā)源組件、鉭爐熱蒸發(fā)源組件（配氮化硼坩堝或陶瓷坩堝）、束源爐熱蒸發(fā)組件（配石英坩堝或氮化硼坩堝）。
高真空電阻熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)
工作條件（實(shí)驗(yàn)室應(yīng)具備的設(shè)備工作條件）
供電：4kW，三相五線制～AC 380V
工作環(huán)境濕度：10℃～40℃
工作環(huán)境溫度：≤50%
冷卻循環(huán)水：0.2m3/h，水溫18℃～25℃
水壓：0.15MPa ～ 0.25MPa
真空性能
極限真空：7×10^-5Pa～7×10^-6Pa
設(shè)備總體漏放率：關(guān)機(jī)12小時(shí)，≤10Pa
操作方式
手動、半自動
生產(chǎn)型磁控濺射離子束多弧鍍膜機(jī)
生產(chǎn)型磁控濺射與離子束鍍膜機(jī)
科研型柜式集成一體化高真空熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)
關(guān)于我們
鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿、市場前沿和產(chǎn)業(yè)前沿的交叉點(diǎn)，尋求創(chuàng)新yin*ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司是鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司全資子公司，是半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體工藝和裝備的設(shè)計(jì)中心和生產(chǎn)制造基地。
公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與gao*duan精密制造，具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體材料、工藝、裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造、工藝技術(shù)服務(wù)及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣，可為生產(chǎn)企業(yè)提供生產(chǎn)型設(shè)備，可為科學(xué)研究提供科研設(shè)備。
公司人才團(tuán)隊(duì)知識結(jié)構(gòu)完整，有工程師哈工大教授和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì)，還有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì)，他們具有30多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。
公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備xian*jin的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺，可以在高起點(diǎn)開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。
公司團(tuán)隊(duì)技術(shù)儲備及創(chuàng)新能力
1998~2002
-設(shè)計(jì)了中試型的全自動化監(jiān)控的MOCVD，用于外延硅基GaN
-設(shè)計(jì)制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機(jī)
2005
-設(shè)計(jì)制造了中國di*yi臺wan*quan自主知識產(chǎn)權(quán)的MBE(分子束外延設(shè)備)，用于外延光電半導(dǎo)體材料
2007
-設(shè)計(jì)超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長
-設(shè)計(jì)制造了光學(xué)級金剛石生長設(shè)備（采用熱激發(fā)技術(shù)和CVD技術(shù)）
2015
-設(shè)計(jì)制造了金剛石涂層制備設(shè)備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜
2017
-優(yōu)化Rheed設(shè)計(jì)，開始生產(chǎn)型MBE設(shè)計(jì)
-開始研發(fā)PSD方法外延GaN的工藝和裝備
2019
-設(shè)計(jì)制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產(chǎn)設(shè)備
2021
-鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司成立
2022
-子公司鵬城微納成立；
-熱絲CVD設(shè)備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機(jī)、分子束外延與磁控濺射聯(lián)用設(shè)備多套出貨
-獲得ISO9001質(zhì)量管理體系證書
2023
-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術(shù)攻關(guān)；
-科技型中小企業(yè)-入庫編號202344030500018573；
-創(chuàng)新型中小企業(yè)；
-獲50+項(xiàng)知識產(chǎn)權(quán)zhuan*li；
-企業(yè)信用評價(jià)3A*信用企業(yè)；/ISO三體系認(rèn)證；
-子公司晶源半導(dǎo)體成立
2024~2026
-與jun*gong和和核工業(yè)客戶合作取得突破（核反應(yīng)堆材料的涂層工藝及裝備、X 光感受板及光電器件的薄膜生長）
-鵬城微納子公司擴(kuò)產(chǎn)
-TGV/TSV/TMV
-微光探測、醫(yī)療影像、復(fù)合硬質(zhì)涂層
-gao*xin*ji*shu企業(yè)
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