產品詳情
真空高溫 CVD 爐采用高溫化學氣相沉積的方法，在工件表面沉積各種薄膜，在半導體工業(yè)中應用非常廣泛，包括沉積大面積的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料，例如：碳化鉭涂層、碳化硅涂層材料。
例如：可在石墨工件表面沉積碳化鉭涂層和碳化硅涂層。
設備構成
爐殼采用不銹鋼材質，雙層水冷結構，設有觀察窗和紅外測溫窗、熱電偶測溫裝置。
加熱系統(tǒng)
設備內部安裝加熱器，形成薄膜沉積熱場。
樣品臺系統(tǒng)
樣品臺可同時掛載若干工件。
測溫和加熱電源
1、溫度控制和檢測全部采用熱電偶/鎢錸熱電偶/紅外測溫儀。
2、加熱電源功率根據實際要求定制電源。
主要技術指標
| 類型 | 參數 |
| 功率 | 約150KW |
| 加熱器工作溫度 | ≤2200℃ |
| 真空度 | 6.67*10-3Pa（冷態(tài)空載） |
| 升壓率 | 0.08pa/h |
關于我們
鵬城微納技術（沈陽）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學（深圳）與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術前沿、市場前沿和產業(yè)前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新yin*ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產業(yè)的痛點和國產化難題，爭取產業(yè)鏈的自主可控。
鵬城微納技術（沈陽）有限公司是鵬城半導體技術（深圳）有限公司全資子公司，是半導體和泛半導體工藝和裝備的設計中心和生產制造基地。
公司核心業(yè)務是微納技術與gao*duan精密制造，具體應用領域包括半導體和泛半導體材料、工藝、裝備的研發(fā)設計、生產制造、工藝技術服務及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣，可為生產企業(yè)提供生產型設備，可為科學研究提供科研設備。
公司人才團隊知識結構完整，有工程師哈工大教授和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊，還有來自工業(yè)界的高級裝備設計師團隊，他們具有30多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產制造的經驗。
公司依托于哈爾濱工業(yè)大學（深圳），具備xian*jin的半導體研發(fā)設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體和泛半導體裝備的研發(fā)、生產、調試以及器件的中試、生產、銷售的能力。
公司團隊技術儲備及創(chuàng)新能力
1998~2002
-設計了中試型的全自動化監(jiān)控的MOCVD，用于外延硅基GaN
-設計制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機
2005
-設計制造了中國di*yi臺wan*quan自主知識產權的MBE(分子束外延設備)，用于外延光電半導體材料
2007
-設計超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長
-設計制造了光學級金剛石生長設備（采用熱激發(fā)技術和CVD技術）
2015
-設計制造了金剛石涂層制備設備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜
2017
-優(yōu)化Rheed設計，開始生產型MBE設計
-開始研發(fā)PSD方法外延GaN的工藝和裝備
2019
-設計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產設備
2021
-鵬城半導體技術（深圳）有限公司成立
2022
-子公司鵬城微納成立；
-熱絲CVD設備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機、分子束外延與磁控濺射聯用設備多套出貨
-獲得ISO9001質量管理體系證書
2023
-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術攻關；
-科技型中小企業(yè)-入庫編號202344030500018573；
-創(chuàng)新型中小企業(yè)；
-獲50+項知識產權zhuan*li；
-企業(yè)信用評價3A*信用企業(yè)；/ISO三體系認證；
-子公司晶源半導體成立
2024~2026
-與jun*gong和和核工業(yè)客戶合作取得突破（核反應堆材料的涂層工藝及裝備、X 光感受板及光電器件的薄膜生長）
-鵬城微納子公司擴產
-TGV/TSV/TMV
-微光探測、醫(yī)療影像、復合硬質涂層
-gao*xin*ji*shu企業(yè)
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