主營產品：上海諧波減速機|哈默納科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSF-17-80-2UH-LW |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態 | 中等沖擊載荷 |
| 傳動比級數 | 單級 | 軸的相對位置 | 臥式減速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現貨 | 現貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環式 | 用途 | 變速機 |
| 輸入轉速 | 1450rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 1782N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 74 |
| 產地 | 日本 | ||
CVD工藝采用的設備為CVD反應爐，根據反應壓力可分為常壓或低壓CVD爐。日本HDCV精密諧波CSF-17-80-2UH-LWCVD反應爐常用的有臥室反應爐和立式反應爐。圖2.8所示為CVD臥式反應爐工作原日本HDCV精密諧波CSF-17-80-2UH-LW理示意圖。為避免高溫，可以采用其他的能量供應形式，例如，通過高能射頻源獲得的等離子體就是一種可選形式，稱為等離子增強CVD (PECVD, Plasma Enhanced CVD)。
（2）外延工藝與設備
外延（Epitaxy）是在單晶襯底上、合適的條件下沿襯底原來的結晶軸向，日本HDCV精密諧波CSF-17-80-2UH-LW生長一層晶格結構完整的新的單晶層的制膜技術。新生單晶層按襯底晶相延伸生長，并稱為外延層。長了外延層的襯底稱為外延片。
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